[发明专利]一种电流振荡器及其制备方法

权利要求书

1.一种电流振荡器，其特征是：由第一电极，第二电极，以及设置在第一电极和第二电极之间的中间层组成，所述的中间层由过渡金属氧化物薄膜形成，并且过渡金属氧化物薄膜的厚度为50nm～200nm，在第一电极和第二电极上施加一定电压时电流呈周期性振荡输出。

2.根据权利要求1所述的电流振荡器，其特征是：所述的中间层为氧化锌薄膜或者铁酸铋薄膜。

3.根据权利要求1或2所述的电流振荡器，其特征是：所述的第一电极和第二电极的材料是金属、金属氮化物、透明导电氧化物中的一种或者两种以上的组合物。

4.根据权利要求1或2所述的电流振荡器的制备方法，其特征是：包括以下步骤：

步骤1、在基底表面形成导电薄膜作为第一电极；

步骤2、在第一电极表面通过磁控溅射的方式制备过渡金属氧化物薄膜；

步骤3、在过渡金属氧化物薄膜表面制备导电薄膜作为第二电极。

5.根据权利要求4所述的电流振荡器的制备方法，其特征是：所述的基底为普通硅片、石英玻璃、无机盐或者聚合物薄膜。

6.根据权利要求4所述的电流振荡器的制备方法，其特征是：所述的聚合物为聚酰亚胺、聚酯、聚醚砜、聚醚酮或者聚醚醚酮。

7.根据权利要求4所述的电流振荡器的制备方法，其特征是：所述的步骤3中采用溅射、热蒸发或者电子束蒸发的方法制备第二电极。

8.根据权利要求4所述的电流振荡器的制备方法，其特征是：还包括以下步骤4：

步骤4、采用反应离子刻蚀或电感耦合等离子体刻蚀的方法在步骤3已获得的结构基础上制备出隔离的器件结构。