[发明专利]一种生产线上选择作业机台的方法及装置

权利要求书

1.一种生产线上选择作业机台的方法，其特征在于，包括：

获取半导体生产线上所需生产产品的产品型号；

从针对作业机台设定的作业许可表中，查找与所述产品型号相对应的作业许可状态，若所述作业许可状态为允许，则选择所述作业机台进行生产作业。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，获取半导体生产线上所需生产产品的产品型号之前，包括：

预设半导体生产线上所需生产产品的产品型号，并针对该产品型号依次预设整个生产流程的每个作业阶段所需生产程序的标识；

确定每个作业机台对应的作业阶段，并按照所述作业阶段所需生产程序的标识，在作业机台的作业许可表中，对应所述产品型号预设作业许可状态。

3.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，若当前作业阶段存在多种型号的作业机台时，从针对作业机台设定的作业许可表中，查找与所述产品型号相对应的作业许可状态，包括：

分别从针对每个作业机台设定的作业许可表中，查找与所述产品型号相对应的作业许可状态，确定所有作业许可状态为允许的作业机台，并从中选择任意一个作业机台进行生产作业。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，选择所述作业机台进行生产作业，包括：

根据所述产品型号从所述作业机台中获取相应的标识为允许状态的生产程序进行生产作业。

5.一种生产线上选择作业机台的装置，其特征在于，包括：

第一处理单元，用于获取半导体生产线上所需生产产品的产品型号；

第二处理单元，用于从针对作业机台设定的作业许可表中，查找与所述产品型号相对应的作业许可状态，若所述作业许可状态为允许，则选择所述作业机台进行生产作业。

6.如权利要求5所述的装置，其特征在于，第一处理单元获取半导体生产线上所需生产产品的产品型号之前，预设半导体生产线上所需生产产品的产品型号，并针对该产品型号依次预设整个生产流程的每个作业阶段所需生产程序的标识，以及确定每个作业机台对应的作业阶段，并按照所述作业阶段所需生产程序的标识，在作业机台的作业许可表中，对应所述产品型号预设作业许可状态。

7.如权利要求5或6所述的装置，其特征在于，若当前作业阶段存在多种型号的作业机台时，第二处理单元从针对作业机台设定的作业许可表中，查找与所述产品型号相对应的作业许可状态，具体为：

分别从针对每个作业机台设定的作业许可表中，查找与所述产品型号相对应的作业许可状态，确定所有作业许可状态为允许的作业机台，并从中选择任意一个作业机台进行生产作业。

8.如权利要求7所述的装置，其特征在于，第二处理单元选择所述作业机台进行生产作业，具体为：

根据所述产品型号从所述作业机台中获取相应的标识为允许状态的生产程序进行生产作业。