[发明专利]具有基于直线光栅尺反馈控制装置的振动台系统

权利要求书

1.具有基于直线光栅尺反馈控制装置的振动台系统，包括振动台，信号发生器和功率放大器；

其特征在于：所述的振动台系统还包括将振动台运动部件的位移转换为相位差为90°的A/B脉冲信号的直线光栅尺，将光栅尺输出的脉冲信号转换为具有标准形状和电平的标准脉冲信号的滤波整形电平转换模块，将标准脉冲信号细分、并判断被测量系统的运动方向的细分辨向模块，和将细分后的脉冲信号转换为电压与当前位移成正比的模拟信号的模拟转换模块；

所述的信号发生器输出的标准信号与模拟转换模块输出的模拟信号均输入一减法器中，所述的标准信号作为被减数，所述的模拟信号作为减数；

所述的减法器的输出信号输入所述的功率放大器中，所述的功率放大器输出的驱动信号输入所述的振动台中。

2.如权利要求1所述的具有基于直线光栅尺反馈控制装置的振动台系统，其特征在于：所述的减法器与所述的功率放大器之间设有PID控制器，所述的模拟转换模块与所述的减法器之间设有比例放大器。

3.如权利要求2所述的具有基于直线光栅尺反馈控制装置的振动台系统，其特征在于：所述的细分辨向模块判断被测量系统的运动方向的方法为：当A相超前B相时，则认为振动台运动部件正向运行；当B相超前A相时，则认为振动台运动部件反向运行。

4.如权利要求3所述的具有基于直线光栅尺反馈控制装置的振动台系统，其特征在于：对于振动台运动部件沿运动方向尺寸大于振动台行程的短行程振动台，光栅尺标尺安装于所述的振动台的运动部件上，光栅尺读数头安装于所述的振动台的固定部件上。

5.如权利要求3所述的具有基于直线光栅尺反馈控制装置的振动台系统，其特征在于：对于振动台运动部件沿运动方向尺寸小于振动台行程的长行程振动台，光栅尺标尺安装于所述的振动台的固定部件上，光栅尺读数头安装于所述的振动台的运动部件上。

6.如权利要求4或5所述的具有基于直线光栅尺反馈控制装置的振动台系统，其特征在于：所述的光栅尺标尺的一侧设有为振动台位移检测提供测量基准的零位块。

7.如权利要求6所述的具有基于直线光栅尺反馈控制装置的振动台系统，其特征在于：所述的光栅尺标尺的另一侧设有保证振动台不会超出安全行程的第一、第二限位块。