[发明专利]非接触式数字微镜器件微镜片一致性检测仪

权利要求书

1.一种非接触式数字微镜器件微镜片一致性检测仪，其特征在于该检测仪包括白光光源（1）、第一会聚透镜（201）、第二会聚透镜（202）、第三会聚透镜（203）、第四会聚透镜（204）、第五会聚透镜（205）、第一光阑（301）、第二光阑（302）、第三光阑（303）、第一透镜（401）、第二透镜（402）、第三透镜（403）、第四透镜（404）、第一散射镜（501）、第二散射镜（502）、第三散射镜（503）、光波长滤波器（6）、半透分光反射镜（7）、变焦透镜组（8）、第一正光焦度透镜（9）、第二正光焦度透镜（18）、第三正光焦度透镜（19）、第一单凸透镜（10）、第二单凸透镜（11）、单凹透镜（12）、双胶合透镜（13）、平面透光板（14）、凹凸单透镜（15）、盖玻片（16）、双凸正光焦透镜（17）、反光镜（20）、ICCD（21）、数字微镜器件（22）、高度可调节平台（23）、手动调节旋钮（24）、平台自动调节驱动器（25）、光波长滤波器驱动单元（26）、光源控制器（27）、图像采集和控制终端（28）、计算机（29）、封闭式机壳（30）、滑动开关门（31）、传送带（32）、滚珠（33）及传送带控制器（34），所述白光光源（1）、第一会聚透镜（201）、第一光阑（301）、第一透镜（401）、第二光阑（302）、第二透镜（402）、第一散射镜（501）、第二会聚透镜（202）、光波长滤波器（6）、第三会聚透镜（203）、半透分光反射镜（7）、变焦透镜组（8）、第一正光焦度透镜（9）、第一单凸透镜（10）、第三光阑（303）、第二单凸透镜（11）、第三透镜（403）、单凹透镜（12）、双胶合透镜（13）、平面透光板（14）、凹凸单透镜（15）、盖玻片（16）依次构成照明光路；所述盖玻片（16）、凹凸单透镜（15）、平面透光板（14）、双胶合透镜（13）、单凹透镜（12）、第三透镜（403）、第二单凸透镜（11）、第三光阑（303）、第一单凸透镜（10）、第一正光焦度透镜（9）、变焦透镜组（8）、半透分光反射镜（7）、双凸正光焦透镜（17）、第二散射镜（502）、第二正光焦度透镜（18）、第三散射镜（503）、第三正光焦度透镜（19）、第四会聚透镜（204）、反光镜（20）、第四透镜（404）、第五会聚透镜（205）、ICCD（21）依次构成成像光路；其中，分光光路和成像光路由封闭式机壳（30）完全封闭，封闭式机壳（30）下端两侧各开有一个滑动开关门（31），滑动开关门（31）通过滑动槽耦合到封闭式机壳（30）上，滑动开关门（31）开启后中间穿过传送带（32），传送带（32）穿过封闭式机壳（30）内的部分置于高度可调节平台（23）的滚珠（33）上；滑动开关门（31）的控制输入端连接到图像采集和控制终端（28）的控制输出端；传送带（32）的控制输入端连接到传送带控制器（34）的控制输出端，传送带控制器（34）的控制输入端连接至图像采集和控制终端（28）的控制输出端；高度可调节平台（23）通过精密螺纹耦合到封闭式机壳（30）上，高度可调节平台（23）配有手动调节旋钮（24），高度可调节平台（23）的控制输入端连接至平台自动调节驱动器（25）的控制输出端，平台自动调节驱动器（25）的控制输入端连接至图像采集和控制终端（28）的控制输出端；变焦透镜组（8）的控制输入端连接至图像采集和控制终端（28）的控制输出端；光源控制器（27）的控制输入端连接至图像采集和控制终端（28）的控制输出端；光波长滤波器（6）的控制输入端连接至光波长滤波器驱动单元（26）的控制输出端，光波长滤波器驱动单元（26）的控制输入端连接至图像采集和控制终端（28）的控制输出端，光波长滤波器驱动单元（26）固定于封闭式机壳（30）的上端；ICCD（21）的数据输出端连接至图像采集和控制终端（28）的数据输入端，图像采集和控制终端（28）的数据输出端连接至计算机（29）的数据输入端。

2.根据权利要求1所述的非接触式数字微镜器件微镜片一致性检测仪，其特征在于仪器所使用的光路元件为能够透过从紫外到红外宽光谱范围的器件。

3.一种使用权利要求1所述检测仪实现微镜片一致性检测的方法，其特征在于该方法是：根据不同波长的光经过同一光路后成像的焦距的不同、测量不同微镜片能清晰成像所对应的光波长，根据其之间的波长差异换算出微镜片之间的水平高度差异，实现微镜片一致性的检测。