[发明专利]机械手、大气传输单元和晶片传输方法有效
| 申请号： | 201110116788.9 | 申请日： | 2011-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN102768977A | 公开（公告）日： | 2012-11-07 |
| 发明（设计）人： | 魏晓 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/687;H01L21/00;H01L21/677;B25J9/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张天舒;陈源 |
| 地址： | 100015 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 机械手 大气 传输 单元 晶片 方法 | ||
1.一种机械手，其特征在于，包括机械手臂、驱动装置、终端受动器和旋转电机；
所述终端受动器和所述驱动装置分别连接于所述机械手臂，所述终端受动器用于承载晶片，所述驱动装置用于驱动所述机械手臂进行伸缩运动以实现对晶片进行传输；
所述旋转电机连接于所述终端受动器，所述旋转电机用于驱动所述终端受动器旋转以带动所承载的晶片旋转进而使所述晶片的表面与水平面呈预设吹扫角度。
2.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，还包括：
连轴器，用于使所述旋转电机和所述终端受动器连接，并在所述旋转电机的驱动下带动所述终端受动器旋转。
3.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，所述终端受动器通过吸附所述晶片或者夹持所述晶片的方式以实现对所述晶片的承载。
4.根据权利要求1至3任一所述的机械手，其特征在于，所述预设吹扫角度为90度。
5.一种机械手，其特征在于，包括机械手臂、用于驱动所述机械手臂的驱动装置和设置于所述机械手臂上的晶片承载装置；
所述晶片承载装置用于承载晶片；
所述驱动装置用于驱动所述机械手臂旋转以带动所承载的晶片旋转进而使所述晶片的表面与水平面呈预设吹扫角度，并驱动所述机械手臂进行伸缩运动以对晶片进行传输。
6.根据权利要求5所述的机械手，其特征在于，所述晶片承载装置通过吸附所述晶片或者夹持所述晶片的方式以实现对所述晶片的承载。
7.根据权利要求5或6所述的机械手，其特征在于，所述预设吹扫角度为90度。
8.一种大气传输单元，其特征在于，包括腔体、过滤器和如上述权利要求1至4任一所述的机械手，所述过滤器设置于所述腔体的顶部，所述机械手设置于腔体的内部；
所述过滤器用于向所述腔体内部提供用于对所述晶片进行吹扫的气体。
9.一种大气传输单元，其特征在于，包括腔体、过滤器和如上述权利要求5至7任一所述的机械手，所述过滤器设置于所述腔体的顶部，所述机械手设置于腔体的内部；
所述过滤器用于向所述腔体内部提供用于对所述晶片进行吹扫的气体。
10.一种应用于权利要求8或9所述的大气传输单元的晶片传输方法，其特征在于，包括：
所述机械手将所述晶片水平传输至所述腔体内；
所述机械手将所述晶片进行旋转使所述晶片的表面与水平面呈预设吹扫角度；
所述过滤器向所述腔体内部提供气体，对所述晶片进行吹扫。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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