[发明专利]一种基板预对准装置及方法

权利要求书

1.一种基板预对准装置，包括：

图像探测及采集设备，用于获取基板的边缘信息；

工件台，用于承载所述基板；

控制设备，用于控制所述工件台产生6自由度运动；

其特征在于，所述图像探测及采集设备包括至少三个图像探测器，所述第一图像探测器位于所述基板的第一边缘，所述第二、第三图像探测器位于所述第一边缘正交的第二边缘。

2.如权利要求1所述的基板预对准装置，其特征在于，所述图像探测及采集设备还包括一光源，所述光源发出的光束与所述图像探测器同轴。

3.如权利要求2所述的基板预对准装置，其特征在于，所述工件台上包括一反射光学元件，所述反射光学元件的反射面与所述光束垂直。

4.如权利要求3所述的基板预对准装置，其特征在于，所述反射光学元件是一反射镜。

5.如权利要求4所述的基板预对准装置，其特征在于，所述图像探测器是CCD照相机。

6.如权利要求5所述的基板预对准装置，其特征在于，所述反射面大于所述CCD照相机的成像视场。

7.一种基板预对准方法，其特征在于：

步骤一、利用一传输设备将基板放置于一工件台上；

步骤二、通过图像探测及采集设备获取基板的边缘信息，所述边缘信息包括第一边缘的信息和与第一边缘正交的第二边缘的信息；

步骤三、根据所述边缘信息计算所述基板的偏心值和偏向值；

步骤四、根据所述偏心值和偏向值调整所述工件台的位移。

8.如权利要求7所述的基板预对准方法，其特征在于，所述步骤三具体包括：

(a)、标定所述边缘信息计算边缘点的工件台坐标并直线拟合所述边缘点；

(b)、根据所述边缘点的工件台坐标计算所述基板的拐角坐标(x，y)，根据第二边缘的斜率计算偏向值(x_c，y_c)；

(c)、根据所述基板的长度W及宽度H，和所述拐角坐标、所述偏向值计算偏心值θ。

9.如权利要求8所述的基板预对准方法，其特征在于，所述步骤(a)包括：所述第一边缘的边缘点为(x_Ri，y_Ri)，共n_R个；所述第一边缘的边缘点为(x_Bi，y_Bi)，共n_B个，对所述边缘点进行直线拟合，以获得k_R，b_R，k_B，b_B。