[发明专利]用于测量待测量大面积表面上的薄层厚度的方法和设备有效

专利信息
申请号: 201110118055.9 申请日: 2011-05-09
公开(公告)号: CN102252640A 公开(公告)日: 2011-11-23
发明(设计)人: H.费希尔 申请(专利权)人: 赫尔穆特费希尔有限责任公司电子及测量技术研究所
主分类号: G01B21/08 分类号: G01B21/08
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 原绍辉
地址: 德国辛*** 国省代码: 德国;DE
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 用于 测量 大面积 表面上 薄层 厚度 方法 设备
【权利要求书】:

1.一种用于测量待测量大面积表面(12)上的薄层厚度的方法,其中,包括至少一个传感器元件(29)以及与传感器元件(29)相关联的至少一个接触球冠(31)的至少一个测量探头(28)被施加到待测量表面(12)以便获得测量值,其特征在于,

待测量大面积表面(12)被再分成单独的部分区域(14),

针对待检查的每个部分区域(14)来确定测量点(16)的矩阵,

使用承载至少一个测量探头(28)的设备(21)沿着部分区域(14)的矩阵的至少一行(17)在等距离的测量点(16)处确定测量值,以及

针对部分区域(14)中的矩阵的所有行(17)接连地确定测量值并针对此部分区域(14)进行评估。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,设备(21)包括至少一个旋转体(22)并接收至少一个测量探头(21),至少一个旋转体(22)包括至少一个行进面(23),设备(21)被放置在待测量表面(12)上并沿着行(17)滚动,并且测量探头(21)被沿着摆线路径在待测量表面(12)上引导并接触抵靠单独的测量点(16)。

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,具有比旋转体(22)的直径更大的直径的止动设备(48)被附接到旋转体(22),并且包括止动设备(48)的设备(21)被沿着待测量表面(12)的边缘引导。

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,包括至少一个测量探头(28)的设备(21)被以预定的规则时间间隔放置在待测量的旋转表面(12)上或在以带状方式被引导的待测量表面(12)上。

5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,根据每个部分区域(14)的测量值来确定平均值                                                和标准偏差s,并由此确定变差系数V=100×s/%,变差系数被作为比较值与评估图相比较以便估计涂层的质量。

6.一种用于测量待测量大面积表面(12)上的薄层厚度的设备,特别地用于执行根据权利要求1至5中的任一项所述的方法,包括至少一个测量探头(28),至少一个测量探头(28)包括至少一个传感器元件(29)以及与传感器元件(29)相关联的至少一个接触球冠(31),其特征在于,至少一个测量探头(28)被布置在包括行进面(23)的旋转体(22)上,测量探头(21)的接触球冠(31)至少略微地从行进面(23)径向地向外突出,并被布置为在旋转体(22)上共同旋转,使得测量探头(22)被相对于待测量表面(12)沿着摆线路径引导。

7.根据权利要求6所述的设备,其特征在于,提供两个或更多旋转体(22),其被可旋转地安装在公共轴上并在公共轴上被引导,并且仅一个旋转体(22)接收至少一个测量探头(21)。

8.根据权利要求6所述的设备,其特征在于,每个接收至少一个测量探头(21)的两个或更多旋转体(22)被连接到刚性轴(41),并且测量探头(28)以相同的角位置定向。

9.根据权利要求6所述的设备,其特征在于,测量探头(28)被弹性地且柔性地安装,从而相对于行进面(23)沉入旋转体(22)中。

10.根据权利要求9所述的设备,其特征在于,测量探头(28)包括两个平行且相互间隔开的板簧元件的弹簧组件或隔膜状弹簧组件(34)。

11.根据权利要求6所述的设备,其特征在于,在旋转体(22)中提供用于至少一个测量探头(28)的测量值的至少一个存储装置(37),并且在旋转体(22)中提供用于读出测量值的接口和/或在旋转体(22)中提供用于到评估装置的无线数据传输的传送和接收装置(38)。

12.根据权利要求6所述的设备,其特征在于,止动设备(48)被布置在一个旋转体(22)上且止动设备(48)的外径比旋转体(22)的更大。

13.根据权利要求12所述的设备,其特征在于,隔离环(49)在侧向周界面上被可替换地布置在止动设备(48)上。

14.根据权利要求6所述的设备,其特征在于,在包括至少一个导辊(45)的测量托架上提供包括至少一个测量探头的至少一个旋转体(22)。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于赫尔穆特费希尔有限责任公司电子及测量技术研究所,未经赫尔穆特费希尔有限责任公司电子及测量技术研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110118055.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top