[发明专利]LED自动曝光机基板非接触式快速预定位方法及其装置

权利要求书

1.一种LED自动曝光机基板非接触式快速预定位方法，它通过基板支架上的基板在旋转过程中，采集基板的边缘点的电位信号数据，然后利用边缘点的电位信号数据，将各边缘点进行拟合计算得到基板边缘图形，确定基板的基准点位置，求出基准点与旋转中心点的偏差，再通过转动基板和/或移动基板支架，使基准点进入基准位置，实现基板非接触式快速预定位；所述采集基板的边缘点的电位信号数据是利用边缘感测器在基板旋转一周，等间隔角度读取的基板外缘点的距离数据(r_2i)，再将基板外缘点的距离数据(r_2i)加上旋转中心到边缘感测器读数的0点位置的距离r₁以及等间隔旋转的角度(θ_i)转换为(X，Y)坐标系的(X_i，Y_i)坐标值。

2.权利要求1所述LED自动曝光机基板非接触式快速预定位方法，其特征是：所述然后利用边缘点的电位信号数据，将各边缘点进行拟合计算得到基板边缘图形是：利用边缘点的电位信号数据用robust法或最小二乘法进行拟合计算得到基板边缘图形。

3.权利要求1所述LED自动曝光机基板非接触式快速预定位方法，其特征是：拟合计算得到基板边缘图形步骤是：

(1)对边缘点(X_i)，(Y_i)利用robust法或最小二乘法进行园拟合，并求出圆(1)和圆心(C₁X，C₁Y)；

(2)求出边缘点(X_i)，(Y_i)到拟合园圆心(C₁X)，(C₁Y)的距离(d_i)；

(3)对距离(d_i)进行排序处理，去噪后抽出位于基准面上小于半径R的连续的n个数据(X_min(i)，Y_min(i))；

(4)对步骤(3)的n个数据(Xmin(i)Ymin(i))利用robust法或最小二乘进行直线拟合，求出直线(line)；

(5)除去(3)的n个数据(X_min(i)Y_min(i))，对剩余的数据再一次利用robust法或最小二乘法进行园拟合，求出圆(2)和圆心(C₂X，C₂Y)；

(6)求圆(2)与直线(line)的两个交点(CLcross1-X，CLCLCross1-Y)及(CLCross2-X，CLCross2-Y)；

(7)求出步骤(6)中的两交点的中心点；中心点就是所述基准点；

(8)求出(7)中心点和圆心(C₂X，C₂Y)的连线与Y坐标线的夹角θ。

4.权利要求3所述LED自动曝光机基板非接触式快速预定位方法，其特征是：得到所述中心点即基准点后，将基准点设定为X₀＝0、Y₀＝0、θ＝0°，求出旋转中心对基准点的偏移量(dX)、(dY)、(dθ)；转动基板角度(dθ)和移动基板支架距离(dX)、(dY)。

5.权利要求1所述LED自动曝光机基板非接触式快速预定位方法，其特征是：所述采集基板的边缘点的电位信号数据是采用边缘感测器。

6.一种基于权利要求1的LED自动曝光机基板快速预定位装置，它包括

操作台：与控制PC之间的操作数据的通讯；

边缘感测器：用于采集基板的边缘点的电位信号数据；

控制PC：用于对边缘感测器采集基板的边缘点的电位信号数据计算，基板旋转移动控制信号的输出；

X，Y，θ工作台：用于基板的支撑，旋转移动；

7.权利要求6所述LED自动曝光机基板非接触式快速预定位装置，其特征在于它还包括模数转换器，用于将边缘感测器采集的模拟信号转化为数字信号传输给控制PC。