[发明专利]微压差发生和检定装置

权利要求书

1.一种微压差发生和检定装置，其特征在于，包括一微压差源、一气缸、标准压差计U7、待检定的压差传感器U8和引压管U9；

标准压差计U7、待检定的压差传感器U8相互并联，两端经引压管U9分别与微压差源、气缸相通连；

微压差源包括圆柱形不锈钢主气缸U1A、调压活塞缸U2A、精密丝杠调压活塞U3A、微调活塞缸U4A，微调丝杠活塞U5A、截止阀U6A，其中，调压活塞缸U2A、微调活塞缸U4A、主气缸U1A相互之间连通；

气缸U1B缸壁上设有截止阀U6B；

标准压差计U7、待检定的压差传感器U8分别与计算机电连接，并双向通讯；

可产生并检定几帕到壹千帕范围内的微压差，用于量程在上述范围内的压差传感器的标定和校准。

2.如权利要求1所述的微压差发生和检定装置，其特征在于，所述截止阀U6A、U6B，为手动或电磁阀；精密丝杠调压活塞U3A为手动调节，或传动杆以丝杠套筒的形式与固连在步进电机轴上的丝杠轴连接，由步进电机调节。

3.一种微压差发生和检定装置，其特征在于，包括两个相同构造的微压差源、标准压差计U7、待检定的压差传感器U8和引压管U9；

微压差源包括圆柱形不锈钢主气缸U1、调压活塞缸U2、精密丝杠调压活塞U3、微调活塞缸U4，微调丝杠活塞U5、截止阀U6，调压活塞缸U2、微调活塞缸U4、主气缸U1相互之间连通；

标准压差计U7、待检定的压差传感器U8相互并联，两端经引压管U9分别与两微压差源相通连；标准压差计U7、待检定的压差传感器U8分别与计算机电连接，并双向通讯；

可产生并检定几帕到壹千帕范围内的微压差，用于量程在上述范围内的压差传感器的标定和校准。

4.如权利要求3所述的微压差发生和检定装置，其特征在于，所述采用两个相同构造的微压差源，其一是正负压差调节起来比较方便，其二是隔离了环境大气扰动的影响，保证了造压精度和稳定度。

5.如权利要求1或3所述的微压差发生和检定装置，其特征在于，所述标准压差计U7，为事先标定过的高精度标准压差计，测量误差＜1Pa，分辨率达到0.1Pa，量程不低于1000Pa。

6.如权利要求1或3所述的微压差发生和检定装置，其特征在于，操作流程如下：

A)打开截止阀U6A、U6B，使气缸U1A、U1B与大气连通，确保气缸内空气的初始压强等于环境气压；

B)调节精密丝杠活塞U3A、U3B的位置，使得气缸U1A、U1B内的空气受到轻微的压缩或扩张，对气缸U1A、U1B内空气的体积进行非常精确的调节，从而在标准压差计U7、待检定的压差传感器U8的两个连接端口产生精准而稳定的压差；

C)微调丝杠活塞U5A、U5B进一步对所生成的微压差进行细调；

D)压差源所产生的压差同时被标准压差计U7和待检定的压差传感器U8所敏感，并由计算机进行同步采集；

E)以标准压差计U7的测量值为基准，通过手动或步进电机自动调节压差源，产生一系列的标准压差，分别由计算机记录下标准压差和待检定的压差传感器U8的测量值，经计算机运算，求出各个标准压差点下，压差传感器U8的测量偏差值，即实现了对待检定传感器的检定。

7.如权利要求1或3所述的微压差发生和检定装置，其特征在于，所述微压差源的设计参数，包括：气缸U1内径D，内长度L，调压活塞缸U2的活塞直径d，丝杠活塞转动一圈的步进距x和丝杠最大行程l，其中，压差源的最低压差生成精度δP_min，由以下公式估算：

δPmin≈12·101325·(dD)2xL]]>

单个压差源产生的最大压差范围ΔP的估算公式如下：

ΔP=δP·lx=2·δPmin·lx.]]>