[发明专利]板状部件的加工装置及其加工方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于在基材表面形成有薄膜层的板状部件上除去周缘部的不需要的薄膜层的加工装置。

背景技术

在基材表面形成薄膜层时，可能会发生在基材的周缘部薄膜层的厚度比内侧部厚、或者薄膜层到达背面的情况。

例如，专利文献1中提出的成膜装置方案，能够防止在通过作为湿处理工艺的1种的浸渍涂布法形成可用于化学过滤器或有机EL的薄膜时产生的由于周缘部上的涂布液的液汁所引起的薄膜层的厚度不均匀，但是难以获得完全均匀的厚度，优选在根据板状部件上形成的薄膜层的厚度所要求的精度形成薄膜后，进行使厚度均匀的处理。

另外，通过使透明电极层、半导体层、金属层等的薄膜在玻璃等的基板的表面上积层而形成薄膜太阳电池盘(battery panel)(以后记载为太阳电池盘)。积层工序例如通过气相反应来进行，此时可能发生上述薄膜层经由周缘部到达背面的情况。由于太阳电池模块要求绝缘特性，因此提出了利用喷丸加工技术将薄膜太阳电池盘的周缘部的薄膜层除去的方法(专利文献2)。

在利用喷丸加工技术除去周缘部的薄膜层时，用于除去的喷射材料(研磨材料)和切削除去的薄膜层等的粉尘会残留在太阳电池盘上。作为除去上述周缘部的薄膜层的方法，专利文献3提出了不会残留喷射材料和粉尘的方法。

专利文献1：特开2008-000718

专利文献2：特开2000-150944

专利文献3：特开2010-036324

在专利文献3中，将与吸引单元连结的罩在太阳电池盘的被加工面及其背面两面上配置，从上述罩的两方除去研磨材料和粉尘，但是如果在被加工面侧发生的负压(吸引力)与在其背面侧发生的负压的平衡调整不充分，则无法充分回收上述喷射材料和粉尘。另外，记载了将集尘机用作上述吸引单元的实施方式，由于集尘机的集尘力随时间变化(其原因在于随着吸引进行，喷射材料和粉尘会在滤布上堆积)，被加工面侧与背面的吸引平衡调整变得非常困难，其结果是可能无法充分回收上述喷射材料和粉尘。

另外，从喷丸加工喷嘴喷射的喷射材料，与太阳电池盘碰撞而反弹(反射)，反弹的研磨材料例如与上述喷嘴等碰撞而反弹，再度与太阳电池盘碰撞，其结果是太阳电池盘的周缘部以外的部位因上述喷射材料而受损，从而导致太阳电池模块的光电动势降低，因此需要在上述周缘部以外的部分受损之前吸引并回收喷射材料和上述喷丸加工所产生的粉尘(因破裂-缺损等变小的喷射材料和切削除去的上述薄膜层等)。

另外，在喷丸加工装置中，使喷丸加工喷嘴或被加工物移动来进行全面的加工。虽然可以根据装置的设置成本来选择各种使被加工物移动的方法，但是由于从喷丸加工喷嘴喷射的喷射材料，在用于使被加工物(太阳电池盘)移动的搬送装置上附着，会导致附着的喷射材料与太阳电池盘接触而使太阳电池盘受损。

发明内容

本发明针对以上课题做出，其目的在于提供一种加工装置，用以获得在基材表面形成有薄膜层的板状部件上除去周缘部的不需要的薄膜层的板状部件。

并且，本发明中的“不需要的薄膜层的除去”，在没有相反说明的情况下，既包括从基材表面完全去除薄膜层的情况，也包括例如上述(背景技术中第二段所记载)那样为了对在薄膜层形成时产生于周缘部与内侧部的薄膜层厚度不均衡进行调节而将薄膜层表面的一部分去除的情况。