[发明专利]一种双面微透镜阵列及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及光学器件制造技术领域，特别涉及一种双面微透镜阵列及其制造方法。

背景技术

微透镜阵列(MLA，microlens array)与各种器件的集成以实现聚光或成像功能，是近年来微小光学系统研究的一个热门方向。而对于主要起聚能器作用的非成像微透镜阵列而言，如何才能使得所有入射光线进入到光敏吸收区域？从几何光学的角度来讲，集能微透镜的设计根本依据是：在给定像元尺寸，探测器光敏区尺寸，前置光学系统F数，透镜材料的折射率和波长等参数后，求出单个微透镜的一些结构参数，使得入射光经微透镜会聚后落在探测器光敏区内的能量最多。按照这个设计思想，一种比较经典的设计理论就是边缘光线追迹法。

如图1所示，为边缘光线追迹法需要考虑的三条光线A、B、C，这三条光线如果都能进入探测器光敏区，则所有的光线都能进入探测器光敏区。其中，A是通过透镜中心的视场光线，B、C是两条边缘光线。当已知探测器像元尺寸、光敏区尺寸、主光学系统(前置光学系统)的光圈F数，可以得到

XB=[H-W+S2tan(θM2)]·tan{θM+sin-1[sin(θM-∂)/n]}-S2---(1)]]>

XC=[H-W+S2tan(θM2)]·tan{θM+sin-1[sin(θM-∂)/n]}-S2---(2)]]>