[发明专利]机床用超长光栅尺逆辊压印成型方法

权利要求书

1.机床用超长光栅尺逆辊压印成型方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)光栅尺胚表面处理：选择金属带、陶瓷或玻璃作为光栅尺胚，对尺胚表面进行等离子气处理；

2)制作光栅模具：选择殷钢、Ni或者Cr作为光栅模具基材，采用激光刻蚀、机械刻划或电化学/化学腐蚀方法制作表面有微结构的辊筒形光栅模具；

3)网纹辊表面滚胶：在网纹辊表面滚涂一层紫外光固化胶；

4)使用刮刀将网纹辊表面多余胶料刮去；

5)采用超声波雾化工艺，在光栅模具表面涂覆一层脱模剂；

6)将光栅模具与网纹辊相对转动，将网纹辊上的紫外光固化胶胶料转移并填充至光栅模具沿圆周线分布的光栅栅线凹槽内；

7)将光栅模具表面的紫外光固化胶进行UV弱固化；

8)将光栅模具与处理后光栅尺胚接触，并对接触面加压，光栅模具在电机动力下旋转，光栅尺胚随光栅模具做同步平面运动，将光栅模具表面的紫外光固化胶微结构转移至光栅尺胚上；

9)对转印后的光栅尺胚进行UV固化定型后，即完成光栅尺逆辊压印成型过程。

2.按照权利要求1所述的机床用超长光栅尺逆辊压印成型方法，其特征在于，所述光栅模具长为50mm～300mm；直径为Φ50mm～Φ500mm，表面均布栅线，栅线宽为100nm～500μm，栅线间距为100nm～500μm，栅线深＜100μm。

3.按照权利要求1所述的机床用超长光栅尺逆辊压印成型方法，其特征在于，所述网纹辊的直径为Φ50mm～Φ500mm，线数为100～1400线/英寸，网纹辊转动圆周线速度与光栅模具圆周线速度相同。

4.按照权利要求1所述的机床用超长光栅尺逆辊压印成型方法，其特征在于，所述步骤7)、9)中光栅模具表面的紫外光固化胶进行UV弱固化、UV固化，UV弱固化、UV固化时间为0.1s～10s。

5.按照权利要求1所述的机床用超长光栅尺逆辊压印成型方法，其特征在于，所述步骤8)中光栅模具通过支撑辊实现紫外光固化胶微结构转移至光栅尺胚基材表面，支撑辊通过气缸控制与光栅模具间的压应力；光栅尺胚基材与光栅模具做同步平面运动的同步速度为0.1～50m/min；光栅模具辊压压应力为10MPa-60MPa。