[发明专利]一种人工晶体自动控制生长连续加料装置有效
申请号: | 201110127655.1 | 申请日: | 2011-05-17 |
公开(公告)号: | CN102181917A | 公开(公告)日: | 2011-09-14 |
发明(设计)人: | 王继扬;刘宏;朱怀烈;吴剑波;于永贵;孙德辉;章任上;夏宗仁;颜涛;秦小勇;崔坤;刘庆波 | 申请(专利权)人: | 山东大学;中电科技德清华莹电子有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人: | 王绪银 |
地址: | 250100 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 人工 晶体 自动控制 生长 连续 加料 装置 | ||
1.一种人工晶体自动控制生长连续加料装置,包括悬挂坩埚晶体生长炉,计算机控制系统和气动船闸式自动连续加料装置;其中,悬挂坩埚晶体生长炉包括悬挂坩埚系统、晶体提升和称重系统、生长炉体和温度控制柜;气动船闸式连续加料装置包括料仓、送料管、两个气动截止阀以及两个继电器;其特征是:所述晶体提升和称重系统以及温度控制柜通过数据线连计算机控制系统;所述料仓固定于底座上,料仓有上进口和下出口,料仓中部连接有吹气管,料仓的下出口与一具有弹性的送料管连接,送料管上装有两个相距设定距离的气动截止阀,送料管的末端连接铂金加料管,铂金加料管通到悬挂坩埚系统中的坩埚内的液面上;所述两个气动截止阀中上气动截止控制阀与上继电器连接,下气动截止控制阀与下继电器连接,且两个气动截止阀分别以吹气管连接;上下气动截止控制阀的开关分别由吹气管中氮气的通断控制,氮气的通断分别由上下继电器控制,继电器的开关周期由计算机系统控制。
2.如权利要求1所述人工晶体自动控制生长连续加料装置,其特征是:所述气动船闸式连续加料装置的每次加料量由调节送料管上的两个气动截止阀之间的距离实现。
3.如权利要求1所述人工晶体自动控制生长连续加料装置,其特征是:所述气动船闸式连续加料装置单位时间内的总加料量由继电器的开关周期调节。
4.权利要求1所述人工晶体自动控制生长连续加料装置的应用,其特征是:加料时,先将下气动截止阀关闭,上气动截止阀打开,同时以吹气管向料仓中通气使粉料下流到两个气动截止阀之间;然后将上截止阀关闭,打开下截止阀,将两截止阀之间的原料排出。
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