[发明专利]用于加工大幅面导光板的装置及其方法

权利要求书

1.用于加工大幅面导光板的装置，其特征在于：包括CO₂激光器、多维运动扫描振镜和运动工作平台，所述CO₂激光器为波长是10.6μm的CO₂激光器，CO₂激光器的输出端设置有多维运动扫描振镜，所述多维运动扫描振镜正对于运动加工平台。

2.根据权利要求1所述的用于加工大幅面导光板的装置，其特征在于：所述CO₂激光器的输出端与多维运动扫描振镜之间布置有激光开关。

3.利用权利要求1所述的装置用于加工大幅面导光板的方法，其特征在于：CO₂激光器发出的激光经过多维运动扫描振镜后，到达运动加工平台，CO₂激光作用于运动加工平台上的被加工材料，被加工材料受激光作用后形成一个100～1000μm微坑，通过高速控制激光开关，以1～20KHz频率每秒钟形成1000～20000个微坑，在多维运动扫描振镜带动激光反射片转动下，激光形成一个光学扫描区域，扫描区域大小为多维运动扫描振镜扫描区域，配合运动加工平台带动导光板的运动，使激光加工区域增大，即多维运动扫描振镜与运动加工平台联动，或多维运动扫描振镜扫描一个区域后、运动加工平台移动至下一个区域再扫描，因此在总的扫描区域内形成一个微坑分布，微坑分布是独立微坑，或者是不同密度的微坑群，或者是相连的微坑串而形成微槽，单个微坑结构的深度在10～100μm，长度在100～1000μm，宽度在100～600μm。

4.根据权利要求3所述的用于加工大幅面导光板的方法，其特征在于：单个位置打单个或多个点，运动加工平台在加工过程中不移动；开始加工时，运动加工平台移动至多维运动扫描振镜下方相应的位置，然后多维运动扫描振镜移动至打点的理论位置停止不动，延时100～600us，多维运动扫描振镜停稳，CO₂激光器出多个脉冲的激光，激光打在同一位置，激光加工一个位置点之后，多维运动扫描振镜再移动至下一个理论位置，延时，CO₂激光器再出激光，重复进行，直到所有的位置点加工结束，然后运动加工平台退出。

5.根据权利要求3所述的用于加工大幅面导光板的方法，其特征在于：多维运动扫描振镜不停的独立运动，CO₂激光器出激光，运动加工平台移动至多维运动扫描振镜下方停止不动；首先运动加工平台移动至多维运动扫描振镜的下方相应位置，定好加工的位置，然后多维运动扫描振镜按路径进行连续运动，路径为一条连续的多义线，当多维运动扫描振镜开始进行一条规划的路径时，CO₂激光器打开，按1K～25K的频率出激光，当规划的路径结束时，关掉CO₂激光器，不出激光，然后多维运动扫描振镜运动到下一条规划路径的起点，再开始运动，同时又打开激光，一直重复，直到所有的路径线条完成，加工结束后运动加工平台退出。

6.根据权利要求3所述的用于加工大幅面导光板的方法，其特征在于：单个位置打多个点，之后多维运动扫描振镜再移至下一个点，加工过程中运动加工平台与多维运动扫描振镜交替进行；首先运动加工平台运动至相应的加工位置，然后运动加工平台停止延时，多维运动扫描振镜运动到规划位置，表现为加工的单点，然后多维运动扫描振镜停止延时，CO₂激光器出单个或多个激光脉冲，加工结束后多维运动扫描振镜移到下一个加工位置，接下来CO₂激光器再出单个或多个激光脉冲，重复下去，直至整个图形中的一块的点加工结束，运动加工平台移动相应的位置，接下来再重复上面的过程加工完成第二块区域的点，直到所有的块加工完成，每块通过拼接而形成一个完整的图形。