[发明专利]可见光点衍射干涉仪中参考球面波偏差检测装置及方法

权利要求书

1.可见光点衍射干涉仪中参考球面波偏差检测装置，其特征在于，该装置包括有：一块光栅(2)、一个沿正交方向开有三个圆孔的小孔板(3)、一个CCD探测器(5)、计算机(6)，所述的小孔板(3)位于光栅(2)和CCD探测器(5)之间；所述的光栅(2)使经过它的会聚光波(1)发生衍射，且衍射光经小孔板(3)衍射后干涉叠加，并在CCD探测器(5)上记录下干涉图；所述的计算机(6)通过信号线从CCD探测器(5)上采集所记录下的干涉图。

2.根据权利要求1所述的可见光点衍射干涉仪中参考球面波偏差检测装置，其特征在于，所述的小孔板(3)沿正交方向所开的三个圆孔分别为孔一(10)、孔二(9)、孔三(11)，三个圆孔的中心连线构成以孔一(10)为直角顶点的等腰直角三角形。

3.可见光点衍射干涉仪中参考球面波偏差的检测方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：

①会聚光波(1)照射到光栅(2)上，生成0级、±1级、±2级依级别递增的衍射光，利用小孔板(3)只让±1级衍射光透过水平方向的孔一(10)和孔三(11)，发生衍射，产生两个球面波(4)，利用CCD探测器(5)记录两个球面波(4)干涉叠加产生的干涉条纹，该干涉条纹即为沿X方向的横向剪切干涉图，利用计算机(6)采集此干涉图，由此获得衍射波前沿X方向的微分波前；

②旋转光栅(2)，采取与步骤①相同的方式，利用小孔板(3)让±1级衍射光透过垂直方向的孔一(10)和孔二(9)，获得沿Y方向的横向剪切干涉图，由此获得衍射波前沿Y方向的微分波前；

③依据X方向的微分波前和Y方向的微分波前进行波前重建，得到原始的衍射参考波前，经过计算得到衍射波前偏差值；

④更换小孔板(3)，改变小孔之间的距离，重复步骤①至步骤③，获得不同剪切量的横向剪切干涉图，进而获得原始衍射波前及其偏差值；

⑤对步骤④中不同剪切量下求得的衍射波前求平均值，得到最终的衍射波前偏差值，完成可见光点衍射干涉仪中参考球面波偏差的检测方法。