[发明专利]工件切断装置和工件切断方法

说明书

(本申请是2010年3月23日递交的发明名称为“工件切断装置和工件切断方法”的申请201010145541.5的分案申请)

技术领域

本发明涉及工件切断装置和工件切断方法，尤其涉及使用内周刀刃切断工件的工件切断装置和工件切断方法。

背景技术

过去，为了从作为工件的硅锭或砷化镓锭等工件上切割出薄片状的晶片，使用了内周刀刃切断装置，使具有中空圆板状的薄台板和在此台板内缘上设置有刃口的内周刀刃高速旋转来切断该工件。通过使用内周刀刃切断装置进行切断加工，具有以高的合格率得到厚度很薄的制品的优点。

在这样的内周刀刃切断装置中，使工件向旋转的内周刀刃进给，或者将旋转的内周刀刃向工件进给来进行切断加工。一般在切断加工时产生的切断阻力，与工件与内周刀刃刃口的接触面积(切断面积)和工件或内周刀刃的送给速度(切断速度)成比例增加。当切断阻力增大时，发生很薄的内周刀刃向台板翘曲，而使刃口的位置改变，切割出的制品的切断面上的平整精度(切断精度)恶化。特别是在工件与刃口接触的瞬间，也就是在开始切断的瞬间，刃口的位置很容易改变，所以在开始切断的瞬间有必要抑制过大的送给速度。

为了防止工件切断精度的恶化，在专利文献1中公开了一种技术，根据由多个位置变化传感器检出的刃口位置变化量，使控制装置求出修正量，将其反馈到使内周刀刃改变位置的主轴位置变动驱动装置中，来修正刃口的位置。在专利文献2中公开了另一种技术，根据由多个传感器检出的刃口位置变化量，使控制装置求出修正量，将其反馈到气压调节装置中来修正刃口的位置。

专利文献1：日本专利特开平4-122609公报

专利文献2：日本专利特开平5-318460公报

发明内容

但是，如专利文献1和专利文献2中公开的使用反馈控制的工件切断装置，其控制系统复杂，使工件切断装置的成本上升。

所以本发明的主要目的是提供一种工件切断装置和工件切断方法，能够无需复杂的控制系统，以低的成本构成工件切断装置，稳定地以高精度进行工件的切断加工。

按照本发明的观点，提供一种工件切断装置，该装置是使具有中空圆板状的台板和设置在台板的内缘上的刃口的内周刀刃旋转来切断工件的工件切断装置，该装置包括：保持工件且将工件配置在可由内周刀刃切断的位置上的配置部；通过支撑配置部并使之移动，将工件向内周刀刃送给的移动部；以及与移动部相连接，并利用落下运动来牵引移动部移动的锤；和通过在移动部或锤上施加抑制因锤的牵引而使移动部移动的力，并至少能够在使工件与内周刀刃的刃口接触时抑制移动部的移动速度的速度抑制装置。

按照本发明的另一个观点，提供一种工件切断方法，是使具有中空圆板状的台板和设置在台板内缘上的刃口的内周刀刃旋转来将工件切断的方法，该方法包括：由配置部将工件配置在能够被内周刀刃切断的位置上的工序；在支撑配置部的移动部上连接锤的工序；由进行落下运动的锤牵引而使移动部移动，随之将工件向内周刀刃送给的工序；通过在移动部或锤上施加抑制因锤的牵引而使移动部移动的力，并至少能够在使工件与旋转的内周刀刃的刃口接触时抑制移动部的移动速度，从而抑制工件向内周刀刃送给的速度并开始切断的工序。

在本发明中，由落下的锤牵引移动部，由此将工件向内周刀刃送给。然后，通过在移动部或锤上施加抑制因锤的牵引而使移动部移动的力，换句话说，通过在移动部上实质上施加与其移动方向相反方向的力或在锤上实质上施加与其落下方向相反的力，至少在工件与内周刀刃相接触时抑制移动部的移动速度，从而抑制相对于内周刀刃的工件过快的送给速度。从而能够以最适当的工件送给速度使工件与内周刀刃相接触，至少可减小在刚开始切断时刃口位置的改变，可稳定地以高精度开始切断加工。另外，可无需复杂的控制系统，以低的成本构成工件切断装置。

速度抑制装置优选包括：设有螺纹槽的引导棒；使引导棒旋转的驱动装置；和使引导棒旋入螺纹且利用引导棒旋转来进行移动的抑制板。抑制板配置在阻碍因锤的牵引而使移动部移动的位置上，通过使抑制板以小于因锤的牵引而使的移动部移动的速度，与移动部向相同方向且与移动部相接触并进行移动，来抑制移动部的移动速度。如此，只要通过使抑制板的移动速度小于移动部的移动速度就能够抑制移动部的移动速度，无需复杂的控制系统，能够以低的成本构成工件切断装置。

速度抑制装置优选包括需要规定的力才能进行移动的阻抗部件。阻抗部件配置在阻碍因锤的牵引而使移动部移动的位置上，通过使移动部压紧阻抗部件并进行移动来抑制移动部的移动速度。在此情况下，无需对速度抑制装置进行控制，就能够以更低的成本构成工件切断装置。