[发明专利]气浮支撑系统

权利要求书

1.一种气浮支撑系统，其特征在于，包括：

基座，具有真空管路；

承版台，具有正压管路；以及

两组气浮轴承，对称地设置于所述承版台的两侧，所述承版台通过所述两组气浮轴承支撑于所述基座上方，每一组所述气浮轴承具有至少一个高压区与至少一个真空区，所述正压管路用于向所述高压区补充气体，所述真空管路用于抽取所述真空区的气体。

2.根据权利要求1所述的气浮支撑系统，其特征在于，所述高压区的数量为两个，对称地位于所述真空区的两侧。

3.根据权利要求2所述的气浮支撑系统，其特征在于，每一个所述高压区具有截流孔、回气槽以及回气孔，所述回气槽设置于所述高压区的周缘且连通所述回气孔，所述两个高压区的所述回气孔相互连通以形成回气管路。

4.根据权利要求3所述的气浮支撑系统，其特征在于，所述气浮支撑系统还包括至少一组位移测量装置，所述回气管路具有排气端，所述位移测量装置与所述排气端位于所述承版台的不同侧。

5.根据权利要求4所述的气浮支撑系统，其特征在于，所述位移测量装置包括激光干涉仪。

6.根据权利要求4所述的气浮支撑系统，其特征在于，所述位移测量装置的组数为两组，分别位于所述承版台的相邻侧。

7.根据权利要求4所述的气浮支撑系统，其特征在于，每一组所述气浮轴承还具有回气密封块，设置于所述回气管路，以使所述回气管路的气体在所述排气端进行排放。

8.根据权利要求1所述的气浮支撑系统，其特征在于，所述气浮支撑系统还包括：

第一方向驱动装置，用以驱动所述承版台沿第一方向运动；以及

第二方向驱动装置，用以驱动所述承版台沿第二方向运动。

9.根据权利要求8所述的气浮支撑系统，其特征在于，所述气浮支撑系统还包括驱动臂，设置于所述基座中。

10.根据权利要求9所述的气浮支撑系统，其特征在于，所述第一方向驱动装置包括第一方向定子与第一方向动子，所述第二方向驱动装置包括第二方向定子与第二方向动子，所述第一方向定子与所述第二方向定子固定于所述驱动臂，所述第一方向动子与所述第二方向动子固定于所述承版台。

11.根据权利要求10所述的气浮支撑系统，其特征在于，所述第一方向动子可移动地悬浮于所述第一方向定子上方，所述第二方向动子可移动地悬浮于所述第二方向定子上方。