[发明专利]液态源汽化装置及其汽化方法

权利要求书

1.一种液态源汽化方法，其特征在于，所述方法依次包括如下步骤：

a) 采用内部电加热或外部加热的方式，使液态源在汽化容器中实现蒸发汽化；

b) 使用外部加热使载气进入步骤a)中的汽化容器携带气体鼓泡，鼓出的气体中掺杂少量液态源蒸气，从而实现鼓泡携带汽化；

c) 使用流量控制模块、温度控制装置、压力控制装置和液位控制装置共同调节汽化容器输出的气体量，切换步骤a)中的蒸发汽化和步骤b)中的鼓泡携带汽化，当终端用气量超过阈值时，所述流量控制模块选择步骤a)中的蒸发汽化，否则，选用步骤b)中的鼓泡携带汽化。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤b)中的载气为纯度在99.999%以上的氮气。

3.一种实现权利要求1所述汽化方法的液态源汽化装置，包括汽化容器（1），其特征在于，所述汽化容器（1）顶部开孔插有鼓泡管路（10）、压力表（11）和液位计（12），所述汽化容器（1）设有内部电加热棒（13）和外部加热器（14），所述汽化容器（1）出口处设置有质量流量计（4）和蒸汽出口阀门（5）。

4.如权利要求3所述的液态源汽化装置，其特征在于，所述汽化容器（1）底部开孔和补液装置（6）相连。

5.如权利要求3所述的液态源汽化装置，其特征在于，所述汽化装置设置有保温箱（9），所述保温箱（9）内部设置循环风机（2）、电热翅片（3）和温控装置，所述汽化容器（1）出口、质量流量计（4）和蒸汽出口阀门（5）放置于保温箱（9）中。