[发明专利]高聚光倍数太阳能电池的散热器及制造方法有效

申请号：	201110132005.6	申请日：	2011-05-20
公开（公告）号：	CN102208472A	公开（公告）日：	2011-10-05
发明（设计）人：	林志伟;张银桥;蔡建九;张永;陈凯轩;单智发;张双翔;占荣;王向武	申请（专利权）人：	厦门乾照光电股份有限公司
主分类号：	H01L31/052	分类号：	H01L31/052;H01L31/18
代理公司：	厦门市新华专利商标代理有限公司 35203	代理人：	李宁;唐绍烈
地址：	361000 福建省厦***	国省代码：	福建;35
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摘要：
搜索关键词：	聚光倍数太阳能电池散热器制造方法
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【权利要求书】：

1.高聚光倍数太阳能电池的散热器，其特征在于：由铜薄层、银铜钛合金层、金刚石膜、银铜钛合金层和铜底座组成，在聚光太阳能电池底下形成铜薄层，铜薄层下面形成银铜钛合金层，此铜薄层和银铜钛合金层上形成绝缘通道，银铜钛合金层下面形成金刚石膜，金刚石膜下面再形成银铜钛合金层，银铜钛合金层下面形成铜底座，铜底座中形成冷却水通道。

2.根据权利要求1所述的高聚光倍数太阳能电池的散热器，其特征在于：所述冷却水通道的上端为方形结构。

3.根据权利要求1所述的高聚光倍数太阳能电池的散热器，其特征在于：所述铜薄层厚度为50～100μm。

4.高聚光倍数太阳能电池的散热器制造方法，其特征在于通过以下步骤来实现：

首先利用电子辅助热丝化学气相沉积法，在钼衬底上沉积金刚石膜；

利用磁控溅射化学气相沉积法，在真空反应室里充氢气保护，磁控溅射蒸镀钛与金刚石结合，在金刚石膜上下面表层形成碳化钛结构；

利用磁控溅射化学气相沉积法蒸镀银铜合金与金刚石表层的碳化钛结合，在碳化钛表层形成银铜钛合金层；

利用激光焊接技术，将金刚石膜底下的银铜钛合金层与铜底座焊接在一起，铜底座的冷却水通道上端为方形结构；将金刚石膜上面的银铜钛合金与铜薄层焊接在一起；再把聚光太阳能电池焊接到铜薄层上；

最后利用激光直写方法，在金刚石膜上面的银铜钛合金层和铜薄层去掉一个绝缘通道。

5.根据权利要求4所述的高聚光倍数太阳能电池的散热器制造方法，其特征在于：所述金刚石膜的厚度为200～300μm。

6.根据权利要求4所述的高聚光倍数太阳能电池的散热器制造方法，其特征在于：所述碳化钛结构的厚度为0.01～0.02μm。

7.根据权利要求4所述的高聚光倍数太阳能电池的散热器制造方法，其特征在于：所述银铜钛合金层的厚度为0.05～0.10μm。

8.根据权利要求4所述的高聚光倍数太阳能电池的散热器制造方法，其特征在于：所述绝缘通道宽1mm深0.15μm。