[发明专利]用于检测图案缺陷的设备

权利要求书

1.一种用于检测图案缺陷的设备，该设备包括：

光源，该光源用于产生并发射光；

扫描镜，该扫描镜用于将从所述光源发射的光扫描到板；

荧光图像检测器，该荧光图像检测器用于检测在所述板上发荧光的荧光图像；以及

散射光图像检测器，该散射光图像检测器用于检测在所述板上散射的散射光图像。

2.根据权利要求1所述的用于检测图案缺陷的设备，其中所述光源产生并发射具有500nm到600nm的波长的光。

3.根据权利要求1所述的用于检测图案缺陷的设备，其中所述光源产生并发射具有594nm的波长的光。

4.根据权利要求1所述的用于检测图案缺陷的设备，该设备进一步包括反射光图像检测器，该反射光图像检测器用于检测从所述板反射的反射光图像。

5.根据权利要求1所述的用于检测图案缺陷的设备，该设备进一步包括检测图像处理器，该检测图像处理器用于将所述荧光图像检测器中检测到的所述荧光图像转换并储存为数字荧光图像，将所述散射光图像检测器中检测到的所述散射光图像转换并储存为数字散射光图像，并根据使用者的需求来显示所储存的荧光图像以及所述散射光图像。

6.根据权利要求5所述的用于检测图案缺陷的设备，其中所述检测图像处理器将所述数字荧光图像以及所述散射光图像二值化并储存。

7.根据权利要求5所述的用于检测图案缺陷的设备，其中所述检测图像处理器包括：

第一模数转换器，该第一模数转换器用于将所述荧光图像检测器中检测到的荧光图像转换为数字荧光图像；

第一存储器，该第一存储器用于储存所述第一模数转换器中转换的所述荧光图像；

第二模数转换器，该第二模数转换器用于将所述散射光图像检测器中检测到的所述散射光图像转换为所述数字散射光图像；

第二存储器，该第二存储器用于储存所述第二模数转换器中转换的所述散射光图像；

显示装置，该显示装置用于显示所述荧光图像和所述散射光图像；以及

控制器，该控制器用于根据使用者的需求来将储存在所述第一存储器的所述荧光图像以及储存在所述第二存储器中的所述散射光图像输出到所述显示装置。

8.根据权利要求1所述的用于检测图案缺陷的设备，该设备进一步包括分色镜，该分色镜用于将从所述光源发射的光传送到所述扫描镜以及当从所述板产生的荧光通过所述扫描镜入射时，将从所述板产生的所述荧光发射到所述荧光图像检测器。

9.根据权利要求1所述的用于检测图案缺陷的设备，该设备进一步包括安置在所述荧光图像检测器前方以传送在所述板上形成的荧光的荧光滤光器。