[发明专利]燃料电池的MEMS制造方法

权利要求书

1.一种燃料电池的MEMS制造方法，包括：

步骤A，提供衬底；

步骤B，在所述衬底上同时形成阳极和阴极，以构成燃料电池的极板；

步骤C，将所述燃料电池的极板与质子交换薄膜层叠，压合组装形成燃料电池。

2.如权利要求1所述的燃料电池的MEMS制造方法，其中，所述衬底为单晶硅。

3.如权利要求1所述的燃料电池的MEMS制造方法，其中，所述阳极和/或阴极的材料包括选自Cr、Au、W、Al、Cu、Ti的金属、其金属合金或其金属氮化物。

4.如权利要求1所述的燃料电池的MEMS制造方法，其中，所述步骤B具体包括：

步骤B1，在衬底上形成垫氧层；

步骤B2，在所述垫氧层上形成垫氮层；

步骤B3，蚀刻所述垫氮层和所述垫氧层，以形成硬掩模图形；

步骤B4，以所述硬掩模图形为掩模，蚀刻所述衬底，在所述衬底的上表面上形成未贯穿所述衬底的多个微孔，所述多个微孔构成台面微结构；

步骤B5，采用填充物以部分填充所述多个微孔，继续蚀刻其余微孔，直至形成贯穿所述衬底的多个穿孔；

步骤B6，去除所述填充物、垫氧层、垫氮层，完全暴露所述衬底；

步骤B7，在所述衬底的整个表面上形成绝缘层；

步骤B8，在所述绝缘层的上表面上形成电极层。

5.如权利要求4所述的燃料电池的MEMS制造方法，其中，所述步骤B1中，在所述衬底的上下表面上均形成垫氧层和/或垫氮层。

6.如权利要求4所述的燃料电池的MEMS制造方法，其中，所述垫氧层和/或所述绝缘层为二氧化硅，所述垫氮层为氮化硅。

7.如权利要求4所述的燃料电池的MEMS制造方法，其中，所述步骤B4和/或步骤B5中的蚀刻为各向异性蚀刻。

8.如权利要求7所述的燃料电池的MEMS制造方法，其中，所述蚀刻采用KOH或TMAH的湿法蚀刻液。

9.如权利要求7所述的燃料电池的MEMS制造方法，其中，所述蚀刻采用碳氟基等离子体蚀刻。

10.如权利要求4所述的燃料电池的MEMS制造方法，其中，所述填充物为光刻胶。

11.如权利要求4所述的燃料电池的MEMS制造方法，其中，采用热氧化法形成所述垫氧层和/或所述绝缘层。

12.如权利要求4所述的燃料电池的MEMS制造方法，其中，所述衬底厚度为500±20μm，所述微孔深度为100μm±2μm。