[发明专利]一种薄膜残余应力分离和测量装置

权利要求书

1.一种薄膜残余应力分离和测量装置，其特征在于，该装置包括密封箱(1)、干涉仪(2)、反射镜(3)、加热板(5)、水平微调底座(6)及输气管(7)，所述的干涉仪(2)、反射镜(3)、加热板(5)、水平微调底座(6)及输气管(7)均设置在密封箱(1)内，加热板(5)上放置待测样品(4)，干涉仪(2)发出光束，经反射镜(3)反射到达待测样品(4)的表面，光束被反射后再次经过反射镜(3)反射回到干涉仪(2)中，与干涉仪(2)中的标准面的反射光发生干涉。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜残余应力分离和测量装置，其特征在于，所述的密封箱(1)由不锈钢支架和有机玻璃加工而成。

3.根据权利要求1所述的一种薄膜残余应力分离和测量装置，其特征在于，所述的密封箱(1)的侧壁开设有用于放入和取出样品的门，门上开两个直径为20cm的孔，橡胶手套从孔中穿过，橡胶手套经法兰固定在孔内。

4.根据权利要求1所述的一种薄膜残余应力分离和测量装置，其特征在于，所述的干涉仪(2)设在反射镜(3)的一侧，所述的加热板(5)及水平微调底座(6)设在反射镜(3)的下方，所述的输气管(7)紧贴密封箱(1)的侧壁设置，输气管(7)的侧壁有均匀分布的气孔，干燥的氮气通过气孔能均匀地缓慢流入，分布在密封箱(1)中。

5.根据权利要求1或4所述的一种薄膜残余应力分离和测量装置，其特征在于，所述的干涉仪(2)为菲索型干涉仪，可以通过被测样品(4)与干涉仪(2)中的标准镜之间的干涉图样得到被测样品(4)的表面形貌。

6.根据权利要求1或4所述的一种薄膜残余应力分离和测量装置，其特征在于，所述的反射镜(3)与水平面呈45°倾斜放置，中心波长为632.8nm，面形为1/10λ。

7.根据权利要求1或4所述的一种薄膜残余应力分离和测量装置，其特征在于，所述的加热板(5)调整密封箱(1)内的温度，加热板(5)与控制其工作的温度控制仪与热电偶连接。

8.根据权利要求1或4所述的一种薄膜残余应力分离和测量装置，其特征在于，所述的水平微调底座(6)调节被测样品(4)在水平方向的起伏。