[发明专利]除去未固化光敏组合物膜或未固化光敏组合物的方法

说明书

相关申请

本申请是申请日为2004年12月14日、申请号为200480037241.8、国际申请号为PCT/JP2004/018973的中国专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及用于除去在光敏基底周边、边缘或背面的未固化光敏组合物膜或用于除去沉积在用于在玻璃基底、半导体晶片等上形成光敏组合物膜的方法中的系统部件或设备表面的未固化光敏组合物的去除剂。

更特别地，它涉及除去留在基底的周围，边缘或背面、含有颜料的未固化光敏组合物膜或除去在液晶或有机EL显示器的生产过程中用来在基底上形成光敏组合物膜的方法中系统部件或设备的表面上所沉积的含有颜料的未固化光敏组合物的去除剂。

技术背景

在液晶显示器、有机EL显示器、等离子体显示器或其他平板显示器或半导体的生产方法中，一般使用光刻法来形成光敏组合物的图案。

对于在滤色器(用于液晶或有机EL显示器)的生产中形成RGB图案或树脂黑底(black matrix)的方法，可以使用颜料分散法、染色法、印刷法、电沉积法等。颜料分散法是一个通过使用含颜料的光敏组合物的光刻来形成颜色图案的方法。由于能获得稳定的带色膜，这个方法适合用来生产滤色器。当使用这种方法在基底上形成光敏组合物膜时，存在着用含有颜料的光敏组合物涂在基底上的方法。对于涂布法，已知的有旋涂法、缝隙涂布法、拉丝锭涂布法、辊涂法、浸涂法、喷涂法，或它们的组合或其他方法。

在旋涂法中，涂完光敏组合物后，在基底周围和边缘的光敏组合物膜的溶胀部分或沉积在基底背面的光敏组合物一般通过用光敏组合物去除剂漂洗除去，也就是，所谓的边缘漂洗或背面漂洗。此外，在旋涂法中，也实施在杯子中溅散除去光敏组合物的方法，也就是，通过使用光敏组合物去除剂进行杯漂洗，以除去光敏组合物。

此外，对于在滤色器的制备中涂布光敏组合物的方法，除了上述的旋涂法外，可以通过缝隙涂布法涂布光敏组合物，用拉丝锭涂布或通过辊涂机涂布。同样在这些方法中，在涂布光敏组合物后，也需要将沉积在全部或部分的缝隙喷嘴、拉丝锭，或涂布系统的其他部分上的不需要的光敏组合物除去。

此外，除了这些，有时沉积在涂布系统的部件如输送光敏组合物的系统管路上的光敏组合物同样也需要除去。通常为了这个光敏组合物的去除，需要用去除剂进行清洗。

在任何除去沉积在基底或系统上光敏组合物的方法中，光敏组合物组分的残留物将成为问题。对于用于制备滤色器的含有颜料的光敏组合物，也就是，用于形成RGB的颜色抗蚀剂或用于形成树脂黑底的黑色抗蚀剂、颜料成分容易留在基底或系统表面上。即使这些很少，杂质会导致滤色器制备中缺陷率的增加或滤色器颜色纯度的变化或对比度的下降。在最近几年里，对于彩色显示器所用滤色器的基底，对提高尺寸和清晰度以及降低成本提出了更多的要求。从这个情形出发，避免影响滤色器的性能和产率的光敏组合物残留物变得越发的重要。

在过去，作为光敏组合物的去除剂，通常使用二醇醚或它的酯或其混合物(例如，见日本已审查专利公告(Kokoku)第4-49938号)，但当使用它来洗掉上面的颜色抗蚀剂，树脂的可除去性又不够，需要使用大量的去除剂，否则去除就不完全。

此外，为了除去含有颜料的有色组合物，也可以使用用于光敏组合物的溶剂成分或光敏组合物所含的成分如表面活性剂或分散剂的方法(例如，见日本未审查专利公告(Kokai)第2000-273370号)，但当仅使用光敏组合物中所含的溶剂成分作为清洁剂时，颜料很容易沉淀，不能获得足够的净化性。此外，当在清洁剂组合物中混入表面活性剂、分散剂或光敏组合物中所含的其他成分时，在蒸发后，该成分很容易作为残留物而留在基底或系统部件上，将需要进一步的清洗处理并且用于除去在基底的端面和背面处(在那里，实践中不可能在蒸发后残留有残留物)的光敏组合物是不优选的。

发明内容

本发明提供一种在除去光敏组合物方面性能优异的光敏组合物去除剂。

特别地，它提供一种能有效除去留在基底周围，边缘或背面、含有颜料的光敏组合物膜或除去在液晶或有机EL显示器的生产过程中用来在基底上形成光敏组合物膜的方法中系统部件或设备的表面上所沉积的含有颜料的光敏组合物的去除剂。

在本申请的叙述中，“分子中有9个或更多个碳原子的芳香烃”有时被称作“第一组分”，“无质子极性溶剂”有时被称作“第二组分”，而“除了无质子极性溶剂的其他溶剂”有时被称作“第三组分”。