[发明专利]焊接接合及检查方法和装置无效
申请号: | 201110135819.5 | 申请日: | 2011-05-20 |
公开(公告)号: | CN102313854A | 公开(公告)日: | 2012-01-11 |
发明(设计)人: | 埃里克·本森;丹尼·卡姆·卢;杰弗里·S·沙利文;马提亚斯·文特;保罗-伊曼纽·埃姆 | 申请(专利权)人: | 应用材料股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/02 | 分类号: | G01R31/02;H01L31/18 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;钟强 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 焊接 接合 检查 方法 装置 | ||
1.一种焊接接合检查方法,包括:
定位导电片至具有至少一个照相机的可视系统附近,所述导电片通过焊接材料至少部分地接合到导电引线,其中所述焊接材料的一部分至少部分地在所述导电片的周边附近延伸;
捕获所述导电片和所述导电引线的一个或多个图像;
分析所述一个或多个图像,以确定在所述导电片的周边附近延伸的焊接材料量;和
通过比较所确定的在所述导电片的周边附近延伸的焊接材料量与第一阈值,确定在所述导电片和所述导电引线之间是否形成了合格的接合。
2.如权利要求1所述的焊接接合检查方法,其中至少一个照相机被定位成以基本垂直于所述导电片的表面的角度捕获图像。
3.如权利要求2所述的焊接接合检查方法,其中所述分析包括确定所述焊接材料的可视表面面积。
4.如权利要求3所述的焊接接合检查方法,其中确定所述可视表面面积包括对一个或多个图像中的与焊接材料的可视表面对应的图元进行求和。
5.如权利要求4所述的焊接接合检查方法,其中所述分析还包括测量在所述导电片的周边附近延伸的所述焊接材料的连续性,及其中所述确定是否形成了合格的接合还包括比较所确定的连续性与第二阈值。
6.如权利要求5所述的焊接接合检查方法,其中所述分析还包括检测所述导电片相对于所述导电引线的位置和取向,及其中所述确定是否形成了合格的接合还包括比较所检测的位置和取向与第三阈值。
7.如权利要求6所述的焊接接合检查方法,其中所述导电片耦连到接线盒,及所述导电引线耦连到薄膜太阳能电池器件。
8.一种焊接接合和检查方法,包括:
使导电片和加热元件接触,其中所述导电片与导电引线相邻,及其中在所述导电片和所述导电引线之间设置有焊接材料;
施加功率至所述加热元件,同时监控施加到所述加热元件的功率量;
在施加功率至所述加热元件期间测量所述加热元件的温度;
捕获所述导电片和所述导电引线的一个或多个图像;
分析所述一个或多个图像以确定在所述导电片的周边附近延伸的焊接材料量;和
通过以下步骤,确定在所述导电片和所述导电引线之间是否形成了合格的接合:
比较所监控的功率量和所测量的温度的曲线与期望的功率量和期望的温度的曲线;和
比较所确定的在所述导电片的周边附近延伸的焊接材料量与第一阈值。
9.如权利要求8所述的方法,其中测量所述温度包括在施加功率至所述加热元件期间持续地测量温度,及其中监控所述功率量包括持续地监控施加到所述加热元件的功率量。
10.如权利要求9所述的方法,其中所述图像是以基本垂直于所述导电片的表面的角度捕获的。
11.如权利要求10所述的方法,其中分析所述一个或多个图像包括对一个或多个图像中的与焊接材料的可视表面对应的图元进行求和,来确定所述焊接材料的可视表面面积。
12.如权利要求11所述的方法,其中所述曲线的每一个包括加热阶段,所述加热阶段包括将所述加热元件的温度从初始温度升高至接合温度所需的功率量。
13.如权利要求12所述的方法,其中所述曲线的每一个包括接合阶段,所述接合阶段包括将所述加热元件的温度保持在接合温度达指定的时间所需的功率量。
14.如权利要求13所述的方法,其中分析所述一个或多个图像还包括测量在所述导电片的周边附近延伸的焊接材料的连续性,及其中所述确定是否形成了合格的接合还包括比较所确定的连续性与第二阈值。
15.如权利要求14所述的方法,其中分析所述一个或多个图像还包括检测所述导电片相对于所述导电引线的位置和取向,及其中所述确定是否形成了合格的接合还包括比较所检测的位置和取向与第三阈值。
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