[发明专利]元件结构体、惯性传感器以及电子设备

权利要求书

1.一种元件结构体，其特征在于，该元件结构体包含：

第1基板，其搭载有第1传感器元件；以及

第2基板，其搭载有第2传感器元件，

所述第1基板的搭载有所述第1传感器元件的表面与所述第2基板的搭载有所述第2传感器元件的表面相互面对。

2.根据权利要求1所述的元件结构体，其特征在于，

所述第1传感器元件检测平面视图中第1方向的力，所述第2传感器元件检测平面视图中与所述第1方向交叉的第2方向的力。

3.根据权利要求1所述的元件结构体，其特征在于，

所述第1基板具有第1支撑层，所述第1传感器元件设置于所述第1支撑层上，

所述第2基板具有第2支撑层，所述第2传感器元件设置于所述第2支撑层上。

4.根据权利要求2所述的元件结构体，其特征在于，

所述第1支撑层和所述第2支撑层的至少一方包含绝缘层，

所述第1传感器元件和所述第2传感器元件中的至少一方隔着所述绝缘层被支撑。

5.根据权利要求1所述的元件结构体，其特征在于，

所述第1传感器元件具有：

第1固定框部；第1可动施重部，其隔着第1弹性变形部被支撑于所述第1固定框部上；第1可动电极部，其形成于所述第1可动施重部上；以及第1固定电极部，其一端被固定在所述第1固定框部上，且该第1固定电极部与所述第1可动电极部相对地配置，并且，在对所述第1可动施重部施加了平面视图中的第1方向的力时，所述第1可动电极部在所述第1方向上移位，

所述第2传感器元件具有：

第2固定框部；第2可动施重部，其隔着第2弹性变形部被支撑于所述第2固定框部上；第2可动电极部，其形成于所述第2可动施重部上；以及第2固定电极部，其一端被固定在所述第2固定框部上，且该第2固定电极部与所述第2可动电极部相对地配置，并且，在对所述可动施重部施加了平面视图中与所述第1方向交叉的第2方向的力时，所述第2可动电极部在所述第2方向上移位。

6.根据权利要求5所述的元件结构体，其特征在于，

所述第1传感器元件具有：第1传感器用第1电容，在对所述第1可动施重部施加了所述第1方向的力时，该第1传感器用第1电容的电容值减小；以及第1传感器用第2电容，在对所述第1可动施重部施加了所述第1方向的力时，该第1传感器用第2电容的电容值增大，

所述第2传感器元件具有：第2传感器用第1电容，在对所述第2可动施重部施加了所述第2方向的力时，该第2传感器用第1电容的电容值减小；以及第2传感器用第2电容，在对所述第2可动施重部施加了所述第2方向的力时，该第2传感器用第2电容的电容值增大。

7.根据权利要求2所述的元件结构体，其特征在于，

在所述第1基板和所述第2基板的至少一方上，还设置有第3传感器元件，

所述第3传感器元件包含第3传感器元件用电容元件，在产生与包含所述第1方向和所述第2方向的面交叉的第3方向的力时，该第3传感器元件用电容元件的电容值发生变化。

8.根据权利要求7所述的元件结构体，其特征在于，

所述第1基板和所述第2基板相对配置，由此构成所述第3传感器元件，

所述第3传感器元件用电容元件包含第1电容，并具有：一端部被支撑于所述第1基板上的作为第1可动电极的第1可动梁；以及固定在所述第2基板上的作为第1固定电极的第1固定部。

9.根据权利要求8所述的元件结构体，其特征在于，

所述第3传感器元件用电容元件还包含第2电容，并具有：固定在所述第1基板上的作为第2固定电极的第2固定部；以及一端部被支撑于所述第2基板上的作为第2可动电极的第2可动梁。

10.根据权利要求7所述的元件结构体，其特征在于，

在平面视图中，所述第3传感器元件设置于所述第1传感器元件和所述第2传感器元件的至少一方的形成区域的周围。

11.根据权利要求1所述的元件结构体，其特征在于，

在所述第1基板与所述第2基板之间，设置有间隔部件。

12.根据权利要求11所述的元件结构体，其特征在于，

由所述第1基板、所述第2基板和所述间隔部件形成了在内部形成有空间的密封体。