[发明专利]一种非晶硅/微晶硅叠层太阳电池及其制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及硅基薄膜太阳电池制备技术，具体而言是一种非晶硅/微晶硅叠层太阳电池及其制备方法。

背景技术

太阳能是用之不竭的可再生能源，对环境保护具有十分重要的意义，太阳能的有效利用已经成为人类的共识。太阳能的利用，尤其是光伏发电技术，是最有希望的可再生能源技术。太阳能电池发电具有安全可靠、无污染、无需消耗燃料、可再生、无机械转动部件等独特优点，尤其是可与建筑物相结合，构成光伏屋顶发电系统，已经成为可再生能源中最重要的组成部分，也是近年来发展最快，最具活力、最受瞩目的研究领域，国际上许多国家都把太阳能光伏发电的商业化开发和利用作为重要的发展方向。

硅基薄膜太阳电池除了具有节省原材料、耗能低、成本低、易于大面积生产的优势外，还有着原材料丰富、无污染等优点。非晶硅太阳电池由于具有光致衰退效应，因而限制了其应用。微晶硅太阳电池的材料有序性得到提高，衰退很小，并且和非晶硅结合可以有效的扩展光谱响应范围，提高电池光电转换效率，降低电池成本。

现有非晶硅薄膜太阳电池已实现产业化,考虑到进一步提高硅基薄膜电池效率和降低成本，非晶硅/微晶硅叠层太阳电池的研究具有很重要的意义。但是，对于现有的大部分非晶硅太阳电池生产线技术升级到非晶硅/微晶硅叠层太阳电池，有着很大的困难，例如，部分设备无法制备微晶硅，需要生产线升级换代，投入大笔资金，不利于产品降低成本等问题。

发明内容

本发明的目的是针对上述存在问题，提供一种非晶硅/微晶硅叠层太阳电池及其制备方法，该方法可大幅降低投资、提高电池转换效率、降低太阳电池成本。

本发明的技术方案：

一种非晶硅/微晶硅叠层太阳电池，由玻璃衬底、透明导电膜TCO、p型非晶硅窗口层P₁、非晶硅本征层I₁、n型非晶硅层N₁、高电导率和高晶化率的n型微晶硅层N₁₊ 、p型微晶硅层P₂、微晶硅本征层I₂、非晶硅/微晶硅过渡区靠近非晶硅区的n型层N₂、ZnO层、金属Al层、EVA层和背板玻璃层组成并依次组成叠层结构，其中以P₁-I₁-N₁非晶硅电池作为叠层电池的顶电池，以P₂-I₂-N₂微晶硅电池作为叠层电池的底电池，以ZnO和Al作为复合背电极。

一种所述非晶硅/微晶硅叠层太阳电池的制备方法，步骤如下：

1）对玻璃衬底上的透明导电膜TCO进行磨边、去离子水清洗、烘干后，用波长1024nm激光刻划TCO，清洗激光刻划后的TCO ；

2）采用PECVD法制备P₁-I₁-N₁非晶硅电池；

3）破真空取出非晶硅顶电池，采用PECVD法用H或Ar等离子体处理非晶硅电池N₁层；

4）采用PECVD法制备高晶化率和高电导率的N₁₊层；

5）采用PECVD法制备P₂-I₂-N₂微晶硅底电池，在非晶硅/微晶硅过渡区靠近非晶硅区制备N₂层；

6）用波长532nm激光刻划硅薄膜，隔离出39个子电池；

7）用PVD法溅射ZnO和Al复合背电极；

8）用波长532nm激光刻划ZnO和Al复合背电极并隔离子电池背电极；

9）制作电池绝缘边并焊接引线，层压封装电池即可。

所述采用PECVD法制备非晶硅N₁层和对破真空的非晶硅顶电池N₁层用H或Ar等离子处理的工艺参数为：辉光激发频率13.56~100MHz、反应气体压强0.1~10 Torr、辉光功率密度10~1000mW/cm²、处理样品温度100~300℃、H或Ar等离子处理时间10~1000S。