[发明专利]用于芯片上柔性电路的结构和方法

权利要求书

1.一种制备多轴传感器(12)的方法，该方法包括：

形成覆盖衬底(100)的牺牲材料(110)的图案；

在牺牲材料和衬底的锚定表面(130)上覆盖柔性材料(120)，该柔性材料包括传感器区域(210)，锚定区域(220)，以及至少一个铰接区域(230)；

由覆盖柔性材料的相应传感器区域的可定向传感器材料形成传感器元件(139)；

沿着锚定区域(220)和邻近的传感器区域(212)之间的边界(280)，在柔性材料中形成至少一个相应的锚定铰链(235)；

在柔性材料中形成传感器区域，锚定区域，以及至少一个铰接区域；

训练传感器元件，以形成在相同的方向上被定向的相应定向传感器元件(140)；

蚀刻牺牲材料；以及

与锚定表面成一角度地蚀刻衬底。

2.依据权利要求1的方法，进一步包括：

折叠柔性材料(120)中的至少一个锚定铰链(235)，其中邻近锚定区域(220)的传感器区域(212)覆盖被蚀刻衬底(101)的至少一部分，其中所述传感器区域(213)被与锚定区域(220)成角度地定向；

由覆盖柔性材料(120)的锚定区域(220)的可定向传感器材料形成传感器元件(139)；以及

训练覆盖柔性材料的锚定区域的传感器元件(139)，同时训练覆盖柔性材料的相应传感器区域(210)的传感器元件(139)，其中邻近锚定区域(220)的传感器区域(211)覆盖被蚀刻的衬底(355)，并且其中传感器区域上的定向传感器元件(141)被与锚定区域上的定向传感器元件(143)成角度地定向。

3.依据权利要求1的方法，其中柔性材料(120)进一步包括接壤两个非邻接传感器区域(211)的180度铰接区域(225)，该方法进一步包括：

横越180度铰接区域(225)的对角线(248)图案化对角铰链(250)；以及

沿着相应的两个非邻接传感器区域和180度铰接区域之间的两个边界(218)图案化柔性材料的两个铰接区域(227)；

蚀刻被图案化的对角铰链以形成对角铰链(250)；

蚀刻两个被图案化的铰接区域以形成两个90度铰链(226)；

沿着对角铰链(250)折叠180度铰接区域(225)；以及

围绕90度铰链(226)旋转180度铰接区域，同时沿着对角铰链折叠180度铰接区域，其中相对于第二传感器区域(212)上的第二定向传感器元件(742)，在衬底(101)的面中旋转第一传感器区域(211)上的第一定向传感器元件(741)90度，其中第一定向传感器元件的传感器轴(191)正交于第二定向传感器元件的传感器轴(192)；

在锚定表面(130)的第一边缘(358-1)处折叠连接第二传感器区域(212)至锚定区域(220)的第一锚定铰链(235-1)，其中第一和第二传感器区域(212)覆盖蚀刻衬底(101)的第一蚀刻表面(357-1)；以及

在锚定表面的第二边缘(235-2)处折叠连接第三传感器区域(213)至锚定区域的第二锚定铰链(235-2)，其中覆盖第三传感器区域(213)的第三定向传感器元件(743)覆盖蚀刻衬底(101)的蚀刻表面(357-1)，并且其中锚定表面的第二边缘与锚定表面的第一边缘相对。