[发明专利]一种用于提供探头对准的方法有效

专利信息
申请号: 201110138198.6 申请日: 2005-06-21
公开(公告)号: CN102305896A 公开(公告)日: 2012-01-04
发明(设计)人: 彼得·福尔默·尼耳森;彼得·R·E·彼得森;杰斯波·阿德曼·汉森 申请(专利权)人: 卡普雷斯股份有限公司
主分类号: G01R31/00 分类号: G01R31/00;G01R3/00
代理公司: 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 代理人: 张春媛;阎娬斌
地址: 丹麦*** 国省代码: 丹麦;DK
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 提供 探头 对准 方法
【权利要求书】:

1.一种用于在试样特定位置上测试电性能的探头,包括:

承载体,分别限定构成柔性悬臂部和基体部的相对第一和第二部,其中该柔性悬臂部在一个方向是柔性的,该悬臂部限定基本上垂直于一个方向的外平面表面,该基体部适于固定在协同操作测试机器上;

在该悬臂部的至少一个导电的探头臂,至少一个导电探头臂中每个与基体部相对设置;

该悬臂部限定了相对的第一和第二区,第二区与基体部接触,第一区限定第一和第二侧面,第一和第二侧面中每一个限定与外平面表面的第一角度,在第一和第二侧面之间限定第一宽度,第二区限定第三和第四侧面,第三和第四侧面中每一个限定与外平面表面的第二角度,在第三和第四侧面之间限定第二宽度,以及

第二宽度等于和/或小于第一宽度。

2.根据权利要求1的探头,其中该第一和第二侧面基本上平行和/或该第三和第四侧面基本上平行。

3.根据权利要求1或2的探头,其中该第一角度在60到90度之间和/或该第二角度近似为60到90度,而该第一角度等于或者不等于该第二角度。

4.根据权利要求1或2的探头,其中该第一角度在60到90度之间,优选的是小于90度,和/或该第二角度近似为60到90度,优选的是小于90度,而该第一角度等于或者不等于该第二角度。

5.根据权利要求1-4任意一个的探头,其中该第一区还限定第一顶面和相对的平行第一底面,而该第二区还限定第二顶面和相对的平行第二底面,该基体部限定第三顶面,该第一、第二和第三顶面基本上平行;

该外平面表面由该第一顶面和/或第二顶面构成;

在第一顶面和第一底面之间限定第一厚度;

在第二顶面和第二底面之间限定第二厚度;

第二厚度小于或者等于第一厚度。

6.根据权利要求5的探头,其中第二厚度穿过第二区区域所有部分和/或第二区的特定部分而限定。

7.根据权利要求5或6的探头,其中该第一顶面和第二顶面基本上共面,和/或该第一顶面和第三顶面基本上共面,和/或该第二顶面和第三顶面基本上共面,和/或该第一、第二或者第三顶面中没有一个共面。

8.根据权利要求5或6的探头,其中该第一和第二底面基本上共面。

9.根据权利要求1-8任意一个的探头,其中该第二区包括至少一个从第二顶面延伸到第二底面的开孔。

10.根据权利要求1-9任意一个的探头,其中该第二区包括至少一个小于第二厚度延伸的凹陷。

11.根据权利要求9或10的探头,其中该开孔或者凹陷中至少一个限定这样一个开口,该开口具有大体上圆形的几何形状、大体上椭圆形几何形状、大体上正方形几何形状、大体上长方形几何形状、大体上三角形几何形状、截顶三角形几何形状、任何多边形几何形状或者其任何组合。

12.根据权利要求1-11任意一个的探头,其中该第二区包括在第二顶面和/或第二底面上的至少一个沟槽。

13.根据权利要求12的探头,其中该至少一个沟槽中至少一个从第三侧面延伸到第四侧面。

14.根据权利要求12的探头,其中该至少一个沟槽小于第二宽度延伸。

15.根据权利要求12-14任意一个的探头,其中沟槽中至少一个限定圆形横截面、方形横断面、矩形横截面、三角形横截面、截顶三角形横截面、任何多边形横截面或者其任何组合。

16.根据权利要求1-15任意一个的探头,其中该第三和/或第四侧面包括沟道,该沟道至少局部地从第二顶面延伸到第二底面,或者从第二底面延伸到第二顶面。

17.根据权利要求16的探头,其中该沟道中限定圆形横截面、方形横断面、矩形横截面、三角形横截面、截顶三角形横截面或者其任何组合。

18.根据权利要求1-17任意一个的探头,其中该探头基本上由金属材料、合金、半导体材料、水晶或者非结晶材料或者其任何组合材料制成,优选的是,该探头由SiO2、Si3N4、Si制成,或者为SOI器件,或者可选择的是,包括提到材料中任何材料的层状结构。

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