[发明专利]一种三自由度压电驱动平台

权利要求书

1.一种三自由度压电驱动平台，其特征在于：包括底座、长梁、至少两个压电定子、上导轨、中导轨和下导轨；下导轨设于底座上，中导轨可横向滑动地设于下导轨的上方，上导轨则可纵向滑动地设于中导轨的上方；长梁固定于底座的上方，压电定子的顶端与长梁固定，底端与上导轨的顶面接触；

所述压电定子包括一根长螺栓、一个上压块、第一、二、三、四弯振压电陶瓷片、第一、二分半式电极片、第一、二、三电极片、第一、二纵振压电陶瓷片和一个下压块，长螺栓从上到下依次穿接上压块、第一弯振压电陶瓷片、第一分半式电极片、第二弯振压电陶瓷片、第一电极片、第三弯振压电陶瓷片、第二分半式电极片、第四弯振压电陶瓷片、第二电极片、第一纵振压电陶瓷片、第三电极片、第二纵振压电陶瓷片和下压块，且长螺栓仅与第一、二、三电极片的穿孔处接触，使上压块、下压块与地接通，其余各分半式电极片、压电陶瓷片的穿孔处均不与长螺栓接触；

第一、二弯振压电陶瓷片作为一组压电陶瓷片，第三、四弯振压电陶瓷片作为一组压电陶瓷片，第一、二纵振压电陶瓷片作为一组压电陶瓷片，其中一组用于激励振子的纵向振动，另外两组分别用于激励振子相互垂直方位的弯曲振动；当纵向振动和一组弯曲振动模态相叠加实现一个面内质点的椭圆运动，而纵向振动和另一组弯曲振动模态相叠加实现另一个面内质点的椭圆运动。

2.如权利要求1所述的一种三自由度压电驱动平台，其特征在于：所述驱动平台还包括两个侧墙，所述两个侧墙的一端分别固定于底座的两个短边，另一端分别与长梁的两个端部固定。

3.如权利要求2所述的一种三自由度压电驱动平台，其特征在于：所述侧墙呈倒T型，底座的两个短边侧面对称方位上分别开设至少两个螺纹孔，侧墙的底部则对应前述螺纹孔开设通孔；所述侧墙的顶端凹设有凹槽，并另设横贯该凹槽的透孔；长梁的两个端部分别对应侧墙的凹槽形成凸垣，且该凸垣上对应透孔也形成透孔。

4.如权利要求1所述的一种三自由度压电驱动平台，其特征在于：所述长梁的中部具有方形结构，其底面向内凹设有方槽，所述方槽的数目与压电定子的数目相同，且均匀分布于方形结构上，各方槽内分别设有一个螺纹孔；一螺钉由上而下穿过长梁上的螺纹孔，一弹簧套置在该螺钉的外周，再将垫块穿套前述螺钉并置于方槽内，所述螺钉的端部并与长螺栓锁固，从而对压电定子进行柔性固定。

5.如权利要求1所述的一种三自由度压电驱动平台，其特征在于：所述下导轨的顶面开设横向导轨，中导轨的底面对应形成凹槽，从而实现下导轨与中导轨的横向相对滑动。

6.如权利要求1所述的一种三自由度压电驱动平台，其特征在于：所述中导轨的顶面开设纵向凸轨，上导轨的底面对应形成凹槽，从而实现中导轨与上导轨的纵向相对滑动。