[发明专利]碳纳米管皮拉尼真空计及其真空度检测方法

权利要求书

1.一种碳纳米管皮拉尼真空计，其特征在于，包括衬底、相对设置的电极对和碳纳米管；其中，电极对制作在衬底上，为碳纳米管提供支撑，碳纳米管的两端分别搭载在电极上，所述电极对提供电学连接，通过电极对给碳纳米管加恒定的电流或电压加热。

2.如权利要求1所述的碳纳米管皮拉尼真空计，其特征在于，所述衬底材料为绝缘体或者带有绝缘层的非绝缘体。

3.如权利要求1所述的碳纳米管皮拉尼真空计，其特征在于，所述的电极对为金属或其他非金属类导体。

4.如权利要求1所述的碳纳米管皮拉尼真空计，其特征在于，所述电极对是叉指电极对或者是简单的对电极。

5.如权利要求1所述的碳纳米管皮拉尼真空计，其特征在于，所述电极宽度大于10nm，长度为大于10nm，高度大于100nm，电极之间的距离大于10nm，电极对数至少1对。

6.如权利要求1所述的碳纳米管皮拉尼真空计，其特征在于，所述碳纳米管为单壁碳纳米管或多壁碳纳米管、单根碳纳米管或多根碳纳米管或碳纳米管束。

7.一种碳纳米管皮拉尼真空计的真空度检测方法，其步骤包括：

1)制备上述权利要求1所述的碳纳米管皮拉尼真空计；

2)对该碳纳米管皮拉尼真空计电极对两端施加扫描电压，测其电流得到该碳纳米管皮拉尼真空计的电阻；

3)在设定气压下对该碳纳米管皮拉尼真空计电极对两端施加扫描电压，测其电流，通过提取出电阻值的方法最终得出不同气压下的电阻-气压关系；

4)根据电阻-气压关系检测封装腔体内的真空度。

8.如权利要求7所述的真空度检测方法，其特征在于，所述步骤1)碳纳米管皮拉尼真空计制备方法包括以下步骤：

1-1)在衬底上制作出电极对，电极对的阴极阳极相对设置。

1-2)将超声后的碳纳米管溶液覆盖在上述电极之上；

1-3)上述电极对施加交流电或直流电后，碳纳米管在双向电泳力的作用下被定向搭载于两电极之间，形成碳纳米管皮拉尼真空计。

9.如权利要求7所述的真空度检测方法，其特征在于，所述步骤2)施加扫描电压的范围为-1～1V。