[发明专利]标准气体的动态配气系统

权利要求书

1.一种用于生产10^-9～10^-6mol/mol浓度范围的标准气体混合物的动态配气系统，所述系统包括：

在温度受控的扩散池中提供包含目标物质的扩散管；

使预定流量的载气流经含有目标物质的扩散池，使得载气携带目标物质流出扩散池；

将流出的含有目标物质的载气分支成至少两个载气分支气流，其中一个载气分支气流与混合室连通，并且两个载气分支气流的流路中至少一个设置有流量控制器；

调节所述流量控制器，以改变流入所述混合室中的载气分支气流的流量；

使预定流量的稀释气体流入所述混合室，并在混合室中与上述流入混合室的载气分支气流相混合，从而获得目标物质的所需浓度的标准气体混合物。

2.根据权利要求1所述的系统，其中所述目标物质选自SO₂、NO₂、NH₃、硫化氢、甲醛、苯、甲苯和二甲苯。

3.根据权利要求1所述的系统，所述流量控制器不设置在与所述混合室连通的载气分支气流的流路上。

4.根据权利要求1所述的系统，所述载气和稀释气体是相同的。

5.根据权利要求4所述的系统，所述载气和稀释气体选自氮气、氦气、氩气和二氧化碳。

6.根据权利要求1所述的系统，所述扩散池的温度保持恒定。

7.一种用于生产10^-9～10^-6mol/mol浓度范围的标准气体混合物的动态配气装置，所述装置包括：

载气和稀释气体源；

温度受控的含有扩散管的扩散池；

混合室；

连接所述扩散池与所述混合室的载气管道；

连接所述稀释气体源与所述混合室的稀释气体管道；

其中，所述载气管道在从所述扩散池延伸出来之后并在连接所述混合室之前分成至少两个载气分支管道，其中一个载气分支管道与所述混合室相连接，并且在所述两个载气分支管道中至少之一上设置流量控制器。