[发明专利]一种用于超高真空测试的送样装置

权利要求书

1.一种用于超高真空测试的送样装置，包括真空罐、样品座、样品固定销钉、送样杆；其特征在于，还包括样品连接杆、连接螺钉、样品连接头、插板阀；

真空罐主体轴向一端为观察窗，径向有两个柱状凸起腔，一垂直向上，另一水平侧向延伸；垂直腔顶端中心密封穿设有测试探头，测试探头向下；水平腔外端有密封盘密封，水平腔中部有插板阀；插板阀左侧的真空罐主体、垂直腔、水平腔的左半部为超高真空区，插板阀右侧水平腔的右半部为低真空区，超高真空区和低真空区均有抽气装置；

与水平腔密封盘中心通孔水平相对的真空罐主体侧壁上设有通孔，密封盘中心通孔内密封连接送样杆，真空罐主体侧壁通孔内密封连接样品连接杆，送样杆内端连接样品座右侧，样品连接杆内端连接样品连接头左侧；样品座与样品连接头相对侧面固接；送样杆、样品座、样品连接头、样品连接杆呈水平连接，共轴线；

样品座上表面设有样品放置孔，样品放置孔两侧不对称的各正交设置一贯通的螺孔，两螺孔位于样品座两侧面，每一螺孔内有一样品固定销钉，待测样品置于样品放置孔内，以两样品固定销钉可拆卸的固接于样品座。

2.如权利要求1所述的超高真空测试的送样装置，其特征在于，所述块状样品座左端前侧面设有贯通的凹槽，凹槽使样品座呈“匚”状，观察孔内底壁至样品座右端水平设有贯通的类矩形插头孔，类矩形插头孔右端面侧向有一凹槽，为类矩形插头观察口；

块状样品连接头水平设有贯通孔，贯通孔右端孔内有连接螺钉，连接螺钉钉帽直径大于贯通孔内径；样品连接头右侧面与“匚”状样品座的两脚固接，与“匚”状样品座左端凹槽围成一通孔，为观察孔，连接螺钉位于观察孔左侧面，类矩形插头孔位于观察孔右侧面；样品连接头的贯通孔与类矩形插头孔正对设置；

观察孔、类矩形插头孔、类矩形插头观察口、样品连接头贯通孔与样品放置孔分别相互垂直设置，观察孔、类矩形插头观察口分别与类矩形插头孔、样品连接头贯通孔相互垂直设置；

送样杆中段直径与密封盘中心通孔直径相适配，两者可活动地密封连接；送样杆外端段外端有送样调整手轮，内端段内端为类矩形插头，类矩形插头的外周圆与类矩形插头孔内周圆相适配，内端的凸起与连接螺钉钉帽的旋槽相适配；送样杆穿过密封盘中心通孔，其类矩形插头位于样品座的类矩形插头孔内，与样品座右侧连接；

样品连接杆的直径与真空罐主体侧壁上通孔直径相适配，两者可活动地密封连接，其内端端面轴向设有螺孔，螺孔与连接螺钉相适配，内端外周圆与样品连接头水平贯通孔内周圆相适配，样品连接杆外端有样品角度旋转轮，样品角度旋转轮侧周圆上有刻度盘；样品连接杆穿过侧壁上通孔，其内端位于样品连接头水平贯通孔内，以连接螺钉固接于样品连接头左侧。

3.如权利要求1所述的超高真空测试的送样装置，其特征在于，所述密封盘，包括低真空连接法兰、导杆连接法兰、密封盖，密封盖中心有通孔，低真空连接法兰、导杆连接法兰、密封盖由左至右顺序叠置、相互密封固接；

低真空连接法兰与水平腔外端密封固接，密封盖中心孔与送样杆中段可活动地密封连接。

4.如权利要求1或2所述的超高真空测试的送样装置，其特征在于，所述样品座上的样品放置孔、类矩形插头孔、观察孔、矩形插头观察口、样品连接头左端面的水平贯通孔，为圆孔、方孔或异形孔。

5.如权利要求2所述的超高真空测试的送样装置，其特征在于，所述“匚”状样品座的两脚与样品连接头右侧面固接，为焊接或粘接。

6.如权利要求1或2所述的超高真空测试的送样装置，其特征在于，所述样品座、样品连接头、类矩形插头的材料，为金属材料，或非金属材料。

7.如权利要求6所述的超高真空测试的送样装置，其特征在于，所述金属材料，为不锈钢、无氧铜、可伐、蒙乃尔、钼其中之一；非金属材料，为陶瓷或聚四氟乙烯。

8.如权利要求1或2所述的超高真空测试的送样装置，其特征在于，工作流程是：

A)在插板阀关闭，超高真空区为设定真空状态下，打开密封盘，将样品固定在样品座的样品放置孔内；

B)关闭密封盘，将低真空区抽真空到设定真空状态；

C)开启插板阀，以送样杆将样品座沿水平腔轴线水平推进超高真空区，并由观察窗校准，使样品连接头的水平贯通孔与样品连接杆对接，将样品连接杆内端插入水平贯通孔；

D)由观察窗、观察孔校准，使送样杆的类矩形插头插入连接螺钉钉帽旋槽，并抵紧，将连接螺钉与样品连接杆内端面的螺孔相扣；

E)旋转样品连接杆的样品角度旋转轮，使连接螺钉旋入螺孔内，并固紧；

F)然后，将送样杆的类矩形插头由样品座的类矩形插头孔中完全退出，悬置；

G)旋转样品连接杆的样品角度旋转轮，调整样品角度，使测试探头正对样品，进行测试；

H)测试结束后，由观察窗、类矩形插头观察口校准，将送样杆的类矩形插头插入类矩形插头孔，再由观察孔校准，将类矩形插头插入连接螺钉钉帽旋槽，并抵紧；

I)旋转样品连接杆的样品角度旋转轮，使连接螺钉与样品连接杆内端面的螺孔分离；

J)用送样杆将分离的样品座沿水平腔轴线水平退回低真空区后，将插板阀关闭；

K)打开密封盘，将样品从样品座的样品放置孔内取出；

L)下一样品的测试重复以上步骤。