[发明专利]光照射装置

权利要求书

1.一种光照射装置，并列地配置了多个准分子灯，其特征在于：

接受上述准分子灯的放射光的照度传感器被配置为与该准分子灯的纵长方向的一侧的顶端相对应，受光面朝向准分子灯的中央部地倾斜。

2.根据权利要求1所记载的光照射装置，其特征在于：

在收容准分子灯的箱体内具有划分出处理区域的间隔壁，上述准分子灯穿过该处理区域地延伸，并且，上述照度传感器设置在该间隔壁外部。

3.根据权利要求2所记载的光照射装置，其特征在于：

上述准分子灯在与被处理物相反侧的内面具有紫外线反射膜，上述照度传感器被配置在与设有该反射膜侧相反的一侧。

4.根据权利要求2或3所记载的光照射装置，其特征在于：

上述光照射装置设有贯通上述间隔壁的筒状的透光性部件，上述准分子灯配置于该透光性部件内，在该透光性部件内使冷却风流通，并且上述照度传感器配置于该冷却风的上游侧。

5.根据权利要求4所记载的光照射装置，其特征在于：

上述准分子灯的供电线配置于上述冷却风的上游侧。

6.根据权利要求1所记载的光照射装置，其特征在于：

上述光照射装置在含有光敏材料的液晶面板的制造工序中应用，上述准分子灯是放射出在波长300nm～400nm具有发光峰值的光的灯。