[发明专利]光波导路的制法

说明书

技术领域

本发明涉及一种在光通信、光信息处理、位置传感器、其他的普通光学领域中广泛采用的光波导路的制法。

背景技术

光波导路通常构成为在下包层的表面上将作为光通路的芯形成为规定图案，以包覆该芯的状态形成上包层。其中，在将上述上包层的端部做成透镜部等、将上包层形成为目标形状的情况下，使用成形模具形成上包层，该成形模具形成有具有与该目标形状对应的模具表面的凹部(例如参照专利文献1)。

即，在上述上包层的形成材料是感光性树脂的情况下，作为上述成形模具，鉴于需要使紫外线等照射光线透射的必要性，采用具有透光性的石英制的材料。在该石英制的成形模具的下表面形成有具有与上述上包层的形状对应的模具表面的凹部。而且，在下包层的表面上形成芯之后，在上述成形模具的凹部内适当地定位上述芯的状态下，使该成形模具的下表面密合于下包层的表面。接着，向由上述凹部的模具表面、下包层的表面和芯的表面围成的成形空间中注入作为上包层的形成材料的感光性树脂之后，透过上述成形模具曝光紫外线等照射光线，使上述感光性树脂固化。之后脱模，得到由上述下包层、芯和上包层构成的光波导路。

在将石英制的成形模具做成目标形状的情况下，制作构成该成形模具的多个构成部件，利用接合用树脂将它们接合起来。其理由如下。即，在切削加工石英制的块材的情况下，从块材的中段开始该切削加工、或者在中段停止该切削加工时，块材会裂开。因此，对于石英制块材的切削加工而言，需要将石英制块材从其一端切削加工至其另一端。因此，制作多个将石英制的块材从其一端切削加工至其另一端而成的石英制的构成部件，再利用接合用树脂将它们接合而做成目标形状。

专利文献1：日本特开2008-281654号公报

但是，接合多个构成部件而成的成形模具会因其接合时的错位等导致尺寸精度变差。在使用尺寸精度较差的成形模具形成上包层时，芯与上包层的位置关系会变得不当。结果，例如从芯的前端出射的光在上包层端部的透镜部未适当地集中，而以扩散的状态从该透镜部出射。因此，接受该光的一侧的受光强度(光传播特性)降低。

发明内容

本发明即是鉴于这样的情况而做成的，其目的在于提供一种将尺寸精度优良的具有透光性的成形模具用于形成上包层的光波导路的制法。

为了达到上述目的，本发明的光波导路的制法包括下述工序：在下包层的表面上将芯形成图案；用成形模具以包覆上述芯的状态形成上包层，该成形模具形成有具有与上包层的形状相应的模具表面的凹部；该光波导路的制法的特征在于，上述成形模具是通过下述方式得到的透光性树脂制的成形模具，即，将与上包层的形状相同形状的模具构件设置在用于形成成形模具的容器内，向该容器内填充透光性树脂并使透光性树脂固化，之后，从上述容器取出固化树脂，使上述模具构件自固化树脂脱离，从而形成上述成形模具；用于形成上述上包层的上述凹部由上述模具构件的脱离痕迹构成；上述上包层的形成工序包括下述工序：向上述成形模具的凹部内填充用于形成上包层的感光性树脂，在将上述芯浸入该感光性树脂内的状态下，透过上述成形模具对上述感光性树脂曝光而使感光性树脂固化。

即，在作为上包层形成用的成形模具的形成材料使用透光性树脂时，能够使用与上包层的形状相同形状的模具构件来进行模具成形，通过该模具成形，能够得到一体制作的上述成形模具。由于该成形模具如上所述地一体制作，因此，尺寸精度优良。

在本发明的光波导路的制法中，使用与上包层的形状相同形状的模具构件来将上包层形成用的成形模具进行模具成形，从而能够一体地制作透光性树脂作为形成材料。因此，能够使该成形模具的尺寸精度优良。另外，在上述成形模具的制作过程中，能够将上述模具构件的脱离痕迹形成为用于形成上包层的凹部。能够通过如下这样的方式形成上包层，即，向上述成形模具的凹部内填充用于形成上包层的感光性树脂，在将在下包层的表面形成图案的芯浸入该感光性树脂内的状态下，透过上述成形模具对上述感光性树脂进行曝光使其固化。这样，由于使用上述尺寸精度优良的上述成形模具来形成上包层，因此，在上包层的形成工序中，能够将上述芯相对于成形模具的凹部准确地定位。

特别是，在上述成形模具的凹部的与上包层的包覆上述芯前端部的部分对应的模具表面部分形成为透镜曲面的情况下，能够得到将上包层的包覆芯前端部的部分形成为透镜部的光波导路。采用该构造，能够利用上述上包层的透镜部的折射作用将从芯的前端部出射的光以抑制了发散的状态从光波导路出射。另外，能够利用上述透镜部的折射作用将从上述上包层的透镜部表面入射的光以集中会聚的状态入射到芯的前端部。即，得到的上述光波导路的光传播特性优良。