[发明专利]化学机械研磨方法无效

专利信息
申请号: 201110144388.9 申请日: 2011-05-31
公开(公告)号: CN102737986A 公开(公告)日: 2012-10-17
发明(设计)人: 廖建茂;陈逸男;刘献文 申请(专利权)人: 南亚科技股份有限公司
主分类号: H01L21/321 分类号: H01L21/321;H01L21/30
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 臧建明
地址: 中国台湾桃园县龟山*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 化学 机械 研磨 方法
【权利要求书】:

1.一种化学机械研磨方法,其适用于在一化学机械研磨机中使用一疏水性研磨垫对一基材进行研磨,且该化学机械研磨方法包括:

对该基材进行一第一化学机械研磨过程;

对该疏水性研磨垫进行一第一清洗过程;以及

对该基材进行一第二化学机械研磨过程,其特征在于该第一化学机械研磨过程、该第一清洗过程与该第二化学机械研磨过程为依序进行。

2.根据权利要求1所述的化学机械研磨方法,其特征在于该第一清洗过程包括毛刷清洗过程或金刚石修整过程。

3.根据权利要求1所述的化学机械研磨方法,其特征在于进行该第一化学机械研磨过程之后且在进行该第一清洗过程之前,还包括将该基材自该疏水性研磨垫上移开。

4.根据权利要求1所述的化学机械研磨方法,其特征在于进行该第二化学机械研磨过程之后,还包括将该基材自该化学机械研磨机中移出。

5.根据权利要求1所述的化学机械研磨方法,其特征在于进行该第二化学机械研磨过程之后,还包括对该疏水性研磨垫进行一第二清洗过程。

6.根据权利要求5所述的化学机械研磨方法,其特征在于该第二清洗过程包括金刚石修整过程。

7.根据权利要求1所述的化学机械研磨方法,其特征在于该第一化学机械研磨过程、该第一清洗过程及该第二化学机械研磨过程为原位进行。

8.根据权利要求1所述的化学机械研磨方法,其特征在于该第一化学机械研磨过程的操作时间为小于120秒。

9.根据权利要求1所述的化学机械研磨方法,其特征在于该第一清洗过程的操作时间为小于60秒。

10.根据权利要求1所述的化学机械研磨方法,其特征在于该第二化学机械研磨过程的操作时间为小于120秒。

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