[发明专利]研磨垫磨损状况检测装置

权利要求书

1.一种研磨垫磨损状况检测装置，适用于一化学机械研磨机，且包括：

一臂状物，一端固定在该化学机械研磨机上；以及

一高度检测器，设置于该臂状物上，用以量测一研磨垫的高度变化。

2.根据权利要求1所述的研磨垫磨损状况检测装置，其特征在于该臂状物固定在该化学机械研磨机上的方式包括枢接，以使得该臂状物可在该研磨垫的上方进行扫描。

3.根据权利要求1所述的研磨垫磨损状况检测装置，其特征在于该臂状物的长度为使该高度检测器位于该研磨垫的中央位置上方的长度。

4.根据权利要求1所述的研磨垫磨损状况检测装置，其特征在于该臂状物的材料包括刚性材料。

5.根据权利要求1所述的研磨垫磨损状况检测装置，其特征在于该高度检测器包括一非接触式高度检测器或一接触式高度检测器。

6.根据权利要求5所述的研磨垫磨损状况检测装置，其特征在于该非接触式高度检测器包括电磁阻抗检测装置、雷射发射与接收装置或超音波发送与接收装置。

7.根据权利要求5所述的研磨垫磨损状况检测装置，其特征在于该接触式高度检测器包括探针装置。