[发明专利]大气压等离子发生装置

权利要求书

1.一种大气压等离子装置，其特征在于：所述大气压等离子发生装置包括：外壳；与所述外壳下部结合，下方形成等离子排出口的接地电极部；结合在所述外壳和所述接地电极部之间的绝缘部件；与所述绝缘部件下部结合，同时与所述接地电极部隔开配置，并在所述接地电极部之间形成放电空间的分段射频电极；向所述分段射频电极供电的供电部；及

所述分段射频电极为圆柱形，设置在所述排出口的上部；邻接并与所述分段射频电极对向，且形成所述放电空间的所述接地电极部的放电面为长方形，通过所述放电空间的上部供给的气体在圆弧形的所述分段射频电极和长方形的所述放电面之间所形成的所述放电空间上放电，并通过所述排出口喷射等离子。

2.根据权利要求 1 所述的大气压等离子发生装置，其特征在于：还包括连接在所述分段射频电极的两侧，使所述分段射频电极与所述接地电极隔开的绝缘性覆盖部件。

3.根据权利要求 2 所述的大气压等离子发生装置，其特征在于：所述覆盖部件为圆筒形，在下部形成所述分段射频电极及向下突出的固定棱，所述固定棱的上部安装支撑着所述分段射频电极，所述固定棱的下部与所述接地电极相接。

4.根据权利要求 3 所述的大气压等离子发生装置，其特征在于：在所述绝缘部件上向下开放形成圆柱形插入槽，可配置插入所述分段射频电极及所述覆盖部件，所述插入槽下部开放口的开放幅度要小于所述覆盖部件的直径及所述插入槽的最大直径，所述覆盖部件的中心点配置在所述插入槽的内部。

5.根据权利要求 2 至 4 任一所述的大气压等离子发生装置，其特征在于：所述接地电极部以所述排出口为中心，分离成 2个，所述覆盖部件在所述分段射频电极的两侧与两个所述接地电极的放电面相接，封闭所述排出口的两侧方向。

6.根据权利要求 2 所述的大气压等离子发生装置，其特征在于： 在所述外壳上，形成第一吸气孔，在所述绝缘部件上形成与所述第一吸气孔连通的第二吸气孔，在所述绝缘部件和所述接地电极部之间形成将所述第二吸气孔和所述放电空间连通的气体引导空间。