[发明专利]多光束激光外差二次谐波法测量玻璃厚度的装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种测量玻璃厚度的装置及方法。 

背景技术

实现对玻璃厚度的精密测量是工程领域一直在面对和急待解决的问题。厚度测量方法不断的推陈出新，包括光学测量法、干涉测量法和衍射法等。但这些方法均无法达到高准确度角度测量的要求。由于光学测角由于具有非接触性、精度高和结构简单等特点，因此使用光学测角的方法得到了越来越广泛的应用； 

但，现有采用多光束激光外差测量玻璃厚度的方法由于激光信号差频信号采集效果差、信号处理的运算速度慢导致测量精度较低。 

发明内容

本发明是为了解决现有采用多光束激光外差测量微冲量的方法由于激光差频信号采集效果差、信号处理的运算速度慢导致的测量精度较低的问题，从而提供一种多光束激光外差二次谐波法测量玻璃厚度的装置及方法。 

多光束激光外差二次谐波法测量玻璃厚度的装置，它包括H₀固体激光器、偏振分束镜PBS、四分之一波片、振镜、平面反射镜、待测厚玻璃板、会聚透镜、光电探测器和信号处理系统组成， 

H₀固体激光器发出的线偏振光经偏振分束镜PBS反射后入射至四分之一波片，经所述四分之一波片透射后的光束入射至振镜的光接收面，经所述振镜反射的光束再次经四分之一波片透射后发送至偏振分束镜PBS，经该偏振分束镜PBS透射后的光束入射至平面反射镜的反射面，经该平面反射镜反射后的光束入射至待测厚玻璃板前表面，经该待测厚玻璃板前表面透射的光束在该待测厚玻璃板内，经该待测厚度玻璃板后表面与前表面多次反射后获得多束反射光，该多束反射光经该待测厚度玻璃板的前表面透射之后与经该待测厚度玻璃板前表面反射后的光束均通过会聚透镜汇聚至光电探测器的光敏面上，所述光电探测器输出电信号给信号处理系统。 

信号处理系统由滤波器、前置放大器、模数转换器A/D和数字信号处理器DSP组成，所述滤波器对接收到的光电探测器输出的电信号进行滤波之后发送给前置放大器，经前置放大器放大之后的信号输出给模数转换器A/D，所述模数转换器A/D将转换后的数字信号发送给数字信号处理器DSP。 

振镜为多普勒振镜，所述多普勒振镜的振动方程为： 

x(t)=at22]]>

多普勒振镜的速度方程为： 

v(t)＝at 

式中a为振动加速度，c为光速，t为时间。 

基于上述装置的多光束激光外差二次谐波法测量玻璃厚度的方法，它由以下步骤实现： 

首先，打开振镜的驱动电源使振镜开始做匀加速振动；同时，打开激光器； 

然后通过信号处理系统连续采集光电探测器输出的电信号，并对采集到的差频信号进行处理，根据频率与厚度的关系f＝Kd获得待测厚玻璃板的厚度d： 

d＝f/K 

式中f为激光外差信号的频率，K为激光外差信号的频率f与待测厚玻璃板的厚度d的比例系数。 

通过信号处理系统连续采集光电探测器输出的电信号，并对采集到的差频信号进行处理，获得待测厚玻璃板的厚度d的过程是通过激光外差信号的频率f和比例系数K获得的，其具体过程为： 

设定经该平面反射镜反射后的光束入射至待测厚玻璃板前表面的入射角为θ₀，此时待测厚玻璃板的入射光场为： 

E(t)＝E₀exp(iω₀t) 

振镜采用多普勒振镜，多普勒振镜的振动方程为： 

x(t)=at22]]>

多普勒振镜的速度方程为： 

v(t)＝at 

由于振镜的运动，根据多普勒效应获得反射光的频率为：