[发明专利]红外烧结炉的混合气体分离装置

权利要求书

1.一种红外烧结炉的混合气体分离装置，其特征在于：包括分别设置在所述红外烧结炉的炉体顶盖(10)上的进风口(11)和出风口(12)，所述进风口(11)安装有吸风罩(20)，与吸风罩(20)连接有气体导流器(30)，所述气体导流器(30)上设置有能将带有一定压力的动力源气体注入的气体注入口(31)，所述气体导流器(30)通过气体进入管道(40)连接有冷凝腔(50)，所述冷凝腔(50)通过气体排出管道(60)与所述出风口(12)连接；其中，混合气体，包括放置在被烧结对象的烧结部位的锡片加热时产生的二氧化锡烟气、涂覆在被烧结对象的烧结部位的松香水加热时产生的松香烟雾、以及烧结半导体元件时所使用的氮气。

2.根据权利要求1所述的红外烧结炉的混合气体分离装置，其特征在于：所述气体注入口(31)注入的动力源气体为氮气。

3.根据权利要求1所述的红外烧结炉的混合气体分离装置，其特征在于：所述冷凝腔(50)的腔体内设置有冷凝管(51)，所述冷凝管(51)上分别设置有向冷凝管(51)内注入冷却介质的冷却介质入口(511)和经过注入冷却介质的冷凝管(51)与流入冷凝腔(50)内的混合气体进行对热换流后温度升高的冷却介质排出的冷却介质出口(512)。

4.根据权利要求3所述的红外烧结炉的混合气体分离装置，其特征在于：所述冷却介质为冷却水。

5.根据权利要求3所述的红外烧结炉的混合气体分离装置，其特征在于：所述冷却介质为冷却气体。

6.根据权利要求1或3所述的红外烧结炉的混合气体分离装置，其特征在于：所述冷凝腔(50)的底部设置有松香收集装置(52)。