[发明专利]高效、广角、抗干扰、微型激光接收器的制作方法

权利要求书

1.一种高效、广角、抗干扰、微型激光接收器制作方法。其特征在于：大角度(≤±45°)的光，经带通滤光后，再照射到特殊制作了环极的半导体硅光电探测器的光敏面上，所生成的光电流，经低噪声放大，八阶带通滤波处理后输出，将它们分别粘贴、焊接在混合集成电路板的上下两面，并安装在的TO型管座上，再与光窗玻璃表面镀有导电膜并内部粘贴有滤光片的管帽封接而成。

2.根据权利要求1所述的高效、广角、抗干扰、微型激光接收器制作方法，其半导体硅光电探测器芯片光敏面的周围，用跟芯片衬底同类型的掺杂杂质，与芯片衬底背面同时扩散n⁺n或p⁺p高低结，形成环极，其形状随光敏面而异，金属化后与衬底电极相连；应用中，将光电探测器底部耗尽层与环极连接，而引到表面。

3.根据权利要求1所述的高效、广角、抗干扰、微型激光接收器制作方法，其滤光片是光学玻璃抛光片上，两面蒸镀干涉滤膜，使之带通窄，抑制度低，接收±45°入射光时，不仅透过率达中心滤长的80％以上，而且抗背景光干扰也很理想。

4.根据权利要求1所述的高效、广角、抗干扰、微型激光接收器制作方法，其导电膜是在金属管帽熔封的光窗玻璃的上表面蒸镀一层ZnO导电膜；应用中，通过管壳接地，实现对外界电磁场的屏蔽。

5.根据权利要求1所述的高效、广角、抗干扰、微型激光接收器制作方法，其八阶带通滤波器，是通过八个带通滤波器逐级滤波，抑制高、低频噪声和杂波的干扰。