[发明专利]一种消除封焊后石英晶体谐振器内部应力的退火工艺无效
| 申请号： | 201110146522.9 | 申请日： | 2011-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN102355218A | 公开（公告）日： | 2012-02-15 |
| 发明（设计）人： | 张杰 | 申请（专利权）人： | 湖北东光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02 |
| 代理公司： | 荆门市首创专利事务所 42107 | 代理人： | 裴作平 |
| 地址： | 448124 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 消除 封焊后 石英 晶体 谐振器 内部 应力 退火 工艺 | ||
【权利要求书】：
1.一种消除封焊后石英晶体谐振器内部应力的退火工艺，其特征在于其退火工艺步骤为：
A、加热：将封焊后石英晶体谐振器放入真空退火炉中，真空-5.5×10-3Pa--5.5×10-3Pa，缓慢加温至100-250℃后，保持1.5-2.5小时；
B、降温：将上述经加热的石英晶体谐振器降温至70-150摄氏度后，再向真空退火炉内充入氮气释放真空至常压，然后降温至常温。
2.根据权利要求所述的消除封焊后石英晶体谐振器内部应力的退火工艺方法，其特征在于石英晶体谐振器为49S型石英晶体谐振器，其退火工艺步骤为：
A、加热：将封焊后的49S型石英晶体谐振器放入真空退火炉中，缓慢加温至150摄氏度后，待整个真空退火炉内所有部件均达到150摄氏度后，再升温至195摄氏度，保持2小时；
B、降温：将上述经加热的49S型石英晶体谐振器降温至100摄氏度后，再向真空退火炉内充入氮气释放真空，然后降温至常温。
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