[发明专利]一种能漏硅后防护的单晶炉有效
| 申请号： | 201110148230.9 | 申请日： | 2011-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN102220630A | 公开（公告）日： | 2011-10-19 |
| 发明（设计）人： | 吴亚军;冯立学;梁会宁;胡元庆;李华恩 | 申请（专利权）人： | 奥特斯维能源（太仓）有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/10 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 215434 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 能漏硅后 防护 单晶炉 | ||
【权利要求书】：
1.一种能漏硅后防护的单晶炉，它包括：保温底板（6）、坩埚轴（7）和加热器（8），其特征在于：它还包括：硅液导流装置（15）和加热器防护罩（14）；所述硅液导流装置（15）安装固定于坩埚轴（7）上；所述加热器防护罩（14）完全罩住加热器（8）的底部，并紧贴着加热器（8）腿部。
2.根据权利要求1所述的一种能漏硅后防护的单晶炉，其特征在于：所述保温底板（6）上设有孔洞，在孔洞四周及保温底板的外沿四周设有向上突起的台阶。
3.根据权利要求1所述的一种能漏硅后防护的单晶炉，其特征在于：所述硅液导流装置（15）为喇叭状且喇叭口朝下的石墨套管。
4.根据权利要求1所述的一种能漏硅后防护的单晶炉，其特征在于：所述硅液导流装置（15）上设有内螺纹，所述坩埚轴（7）上设有与硅液导流装置（15）上内螺纹相匹配的外螺纹；硅液导流装置（15）和坩埚轴（7）通过内外螺纹固定在一起。
5.根据权利要求1所述的一种能漏硅后防护的单晶炉，其特征在于：所述硅液导流装置和坩埚轴的连接方式为：在坩埚轴上打孔使之贯穿，将硅液导流装置从坩埚轴下部套进去，然后用两个碳碳材料做的小圆短棒分别插入两个小孔内以支撑硅液导流装置。
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