[发明专利]反射镜角度定位装置和加工装置

权利要求书

1.一种用于反射镜的角度定位的装置，所述装置包含：

第一反射镜；

第一马达，被配置用于旋转第一反射镜；

第一检测器，被配置用于检测第一反射镜的旋转角度；

第一控制器，被配置用于向第一马达供给电流以使得第一反射镜的旋转角度达到目标角度，基于表示向第一马达供给的电流的值和第一反射镜的歪斜角度之间的关系的模型估计在向第一马达供给所述电流的情况下的第一反射镜的歪斜角度，并且如果被估计的角度超过容许值，则执行用于调整向第一马达的电流供给以使得第一反射镜的歪斜角度落入所述容许值内的处理。

2.根据权利要求1的装置，其中，第一控制器被配置用于作为所述处理，执行在第一反射镜被旋转到下一目标角度之前所需要的等待时间的设定。

3.根据权利要求1的装置，其中，第一控制器被配置用于作为所述处理，执行对在其期间第一反射镜被旋转到下一目标角度的时间的调整。

4.根据权利要求1的装置，其中，

第一单元包含第一反射镜、第一马达、第一检测器和第一控制器，并且，

所述装置还包括第二单元，所述第二单元包含：第二反射镜；被配置用于旋转第二反射镜的第二马达；被配置用于检测第二反射镜的旋转角度的第二检测器；第二控制器，所述第二控制器被配置用于向第二马达供给电流以使得第二反射镜的旋转角度达到目标角度，以及基于表示向第二马达供给的电流的值和第二反射镜的歪斜角度之间的关系的模型估计在向第二马达供给所述电流的情况下的第二反射镜的歪斜角度，

第一马达的旋转轴和第二马达的旋转轴相互垂直，并且，

第一控制器和第二控制器被配置用于基于第一反射镜的被估计的角度和第二反射镜的被估计的角度通过第一反射镜和第二反射镜中的一个的角度定位来执行对于第一反射镜和第二反射镜中的另一个的歪斜角度的补偿。

5.一种用于用激光照射物体的加工装置，所述加工装置包括：

根据权利要求1的装置；以及

照射单元，被配置用于用激光照射根据权利要求1的所述装置的第一反射镜。

6.一种用于用激光照射物体的加工装置，所述加工装置包括：

用于反射镜的角度定位的装置；以及

被配置用于用激光照射所述反射镜的照射单元，

所述用于反射镜的角度定位的装置包括：

反射镜；

马达，被配置用于旋转所述反射镜；

检测器，被配置用于检测所述反射镜的旋转角度；

控制器，被配置用于向所述马达供给电流以使得所述反射镜的旋转角度达到目标角度，基于表示向马达供给的电流的值和反射镜的歪斜角度之间的关系的模型估计在向马达供给所述电流的情况下的反射镜的歪斜角度，并且如果估计的角度超过容许值，则导致照射单元对于以激光对于所述装置的照射进行等待。