[发明专利]一种基于精密机械加工的微型热电器件制作方法

权利要求书

1.一种基于精密机械加工的微型热电器件制作方法，其特征在于：该方法包括如下步骤：

(1)先利用精密切割法分别在P型、N型薄片状热电块体材料表面上加工出一系列平行凹槽，然后在环氧树脂的润滑下使P型和N型薄片插嵌复合，并进行固化处理，得到复合薄片；

(2)将复合薄片的其中一个表面抛光，然后在此表面上，沿与步骤(1)切割方向垂直的方向切割出一系列平行凹槽，并填入环氧树脂，固化后形成微型热电臂阵列；

(3)制作串联连接热电臂的电极，并封装成微型热电器件。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述的P型和N型薄片状热电块体材料的厚度为1～2毫米。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤(1)所述的凹槽的深度为0.3～1毫米，宽度为50～200微米，相互间隔距离为凹槽宽度的80％～90％。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤(2)中抛光时要将复合薄片抛光至露出P型和N型的插嵌复合部分。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤(2)所述的凹槽的深度为0.3～0.8毫米，宽度为50～500微米，间隔为50～500微米。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤(1)和步骤(2)中采用相同的环氧树脂，环氧树脂的环氧值为35～45。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤(1)和步骤(2)中，固化时间为24小时以上。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤(3)中所述电极的制作包括如下步骤：将热电臂阵列的其中一面表面抛光，然后利用紫外光刻的方法在此表面上制作出光刻胶的掩模，再利用等离子刻蚀的方法刻蚀掩模中露出的部分，随后利用磁控溅射的方法制作出此表面上的电极；利用同样的方法制作热电臂阵列另一面的电极。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：电极为镍-铜复合薄膜，镍在底层，厚度为0.1～0.5微米，铜在表层，厚度为3～10微米。

10.根据权利要求1、8或9所述的方法，其特征在于：电极的形状为正方形，边长等于步骤(1)中切割的凹槽相互之间的间隔。