[发明专利]彩色滤光片基板的制造方法、光学掩膜及光反应层无效
申请号: | 201110149783.6 | 申请日: | 2011-06-03 |
公开(公告)号: | CN102213785A | 公开(公告)日: | 2011-10-12 |
发明(设计)人: | 陈孝贤;李冠政 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02B5/20 | 分类号: | G02B5/20;G03F1/14;G02F1/1335 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 何青瓦 |
地址: | 518000 广东省深圳市光明新区公*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 彩色 滤光 片基板 制造 方法 光学 光反应 | ||
1.一种彩色滤光片基板的制造方法,其特征在于,所述制造方法包括步骤:
提供基板;
提供光反应层,所述光反应层覆盖在所述基板上;
提供光学掩膜,所述光学掩膜设置于所述光反应层的上方;
提供不同频段的光经过所述光学掩膜对所述光反应层进行照射,以分别在所述光反应层上形成色阻区以及黑色遮光区。
2.根据权利要求1所述的制造方法,其特征在于,
所述光学掩膜包括多个呈矩阵设置的光学带通滤波单元,每一所述光学带通滤波单元包括:
多个第一透光区域,每一所述第一透光区域选择性地透过一种预定频段的光,限制其他频段的光通过;
多个第二透光区域,所述第二透光区域设置于二相邻的所述第一透光区域之间,以隔绝二相邻的所述第一透光区域,且所述第二透光区域允许多种频段的光透过。
3.根据权利要求2所述的制造方法,其特征在于,
所述光学掩膜的所述多个第一透光区域分别包括第一频段透光区、第二频段透光区以及第三频段透光区;
提供第一频段光、第二频段光以及第三频段光经过所述光学掩膜对所述光反应层进行照射,其中:
所述第一频段透光区仅可透过所述第一频段光,且所述光反应层在所述第一频段光的照射下形成红绿蓝三原色中之第一色的色阻区;
所述第二频段透光区仅可透过所述第二频段光,且所述光反应层在所述第二频段光的照射下形成红绿蓝三原色中之第二色的色阻区;
所述第三频段透光区仅可透过所述第三频段光,且所述光反应层在所述第三频段光的照射下形成红绿蓝三原色中之第三色的色阻区;
所述第一频段光、所述第二频段光以及所述第三频段光同时透过所述第二透光区域时,所述光反应层形成黑色遮光区。
4.根据权利要求3所述的制造方法,其特征在于,
所述光反应层在所述第一频段光的照射下形成红色的色阻区,所述光反应层在所述第二频段光的照射下形成绿色的色阻区,所述光反应层在所述第三频段光的照射下形成蓝色的色阻区。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的制造方法,其特征在于,以单一波长的激光二极管作为光源提供所需的照射光。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的制造方法,其特征在于,所述光学掩膜为光学带通滤波透镜阵列。
7.一种光学掩膜,用于制备彩色滤光片基板,其特征在于:
所述光学掩膜包括多个呈矩阵设置的光学带通滤波单元,每一所述光学带通滤波单元包括:
多个第一透光区域,每一所述第一透光区域选择性地透过预定频段的光;
多个第二透光区域,所述第二透光区域允许多种频段的光透过;
其中,所述第二透光区域设置于二相邻的所述第一透光区域之间,以隔绝二相邻的所述第一透光区域。
8.根据权利要求7所述的光学掩膜,其特征在于:
所述多个第一透光区域包括:
第一频段透光区,所述第一频段透光区仅可透过第一频段光;
第二频段透光区,所述第二频段透光区仅可透过第二频段光;
第三频段透光区,所述第三频段透光区仅可透过第三频段光;
且,所述第一频段光、所述第二频段光以及所述第三频段光均可透过所述第二透光区域。
9.一种光反应层,用于制备彩色滤光片基板的色阻层,其特征在于:
在预设频段的入射光照射下,所述光反应层形成红绿蓝三原色中之一色的色阻区;
在多种所述预设频段的入射光照射下,所述光反应层形成黑色的遮光区。
10.根据权利要求9所述的光学反应层,其特征在于:
所述预设频段的入射光分为第一频段光、第二频段光、第三频段光;且,
在所述第一频段光的照射下,所述光反应层形成可透光的红色色阻区;
在所述第二频段光的照射下,所述光反应层形成可透光的绿色色阻区;
在所述第三频段光的照射下,所述光反应层形成可透光的蓝色色阻区;
在所述第一频段光、所述第二频段光、所述第三频段光的共同照射下,所述光反应层形成黑色的遮光区。
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