[发明专利]一种氧化锌/氧化亚铜薄膜太阳能电池的制备方法

权利要求书

1.一种氧化锌/氧化亚铜薄膜太阳能电池的制备方法，首先通过电化学沉积在透明导电玻璃上沉积一层氧化锌纳米材料；以制备出的氧化锌纳米材料为基底，沉积一层氧化亚铜薄膜；再通过离子溅射在透明导电玻璃和氧化亚铜上制备金电极，从而获得太阳能电池。

2.如权利要求1所述的氧化锌/氧化亚铜薄膜太阳能电池的制备方法，其具体步骤如下：

（1）将FTO透明导电玻璃切成1×4cm的基片，接着用光漂洗涤剂超声清洗30-60 min，再用酒精超声清洗30-60 min，最后用蒸馏水超声清洗10-30 min，然后放入烘干箱干燥以备用； 

（2）将干燥的基片放入电解槽中，施加0.1-1 mA/cm²的恒电流，在60-90℃下沉积0.5-5h，所采用电解液是浓度为0.03-0.5 mol/l硝酸锌溶液，制备得到氧化锌纳米材料；

（3）将得到的氧化锌纳米材料放入电解槽，电流密度为0.1-0.3 mA/cm²，在40-80℃下沉积时间30-90分钟，得到一层氧化亚铜薄膜，制备出纳米氧化锌/氧化亚铜异质结，采用的电解液为硫酸铜与乳酸的混合液，硫酸铜浓度0.2-0.4 mol/l，乳酸浓度为1-5 mol/l；

（4）以带孔的锌金属片为掩膜，通过离子溅射在氧化亚铜薄膜上制备金电极。

3.一种氧化锌/氧化亚铜薄膜太阳能电池的制备方法，首先通过电化学沉积在透明导电玻璃上沉积一层氧化锌薄膜；以制备出的氧化锌薄膜为基底，沉积一层氧化亚铜薄膜；再通过离子溅射在透明导电玻璃和氧化亚铜上制备金电极，从而获得太阳能电池。

4.如权利要求3所述的氧化锌/氧化亚铜薄膜太阳能电池的制备方法，其具体步骤如下：

（1）将FTO透明导电玻璃切成1×4cm的基片，接着用光漂洗涤剂超声清洗30-60 min，再用酒精超声清洗30-60 min，最后用蒸馏水超声清洗10-30 min，然后放入烘干箱干燥以备用； 

（2）将干燥的基片放入电解槽中，施加0.1-1 mA/cm²的恒电流，在60-90℃下沉积0.5-5h，所采用电解液是浓度为0.3-0.5 mol/l硝酸锌溶液，制备得到氧化锌薄膜；

（3）将得到的氧化锌薄膜放入电解槽，电流密度为0.1-0.3 mA/cm²，在40-80℃下沉积时间30-90分钟，得到一层氧化亚铜薄膜，制备出氧化锌/氧化亚铜薄膜异质结，采用的电解液为硫酸铜与乳酸的混合液，硫酸铜浓度0.2-0.4 mol/l，乳酸浓度为1-5 mol/l；

（4）以带孔的锌金属片为掩膜，通过离子溅射在氧化亚铜薄膜上制备金电极。

5.一种氧化锌/氧化亚铜薄膜太阳能电池的制备方法，首先通过电化学沉积在透明导电玻璃上沉积一层氧化锌纳米线；以制备出的氧化锌纳米线为基底，沉积一层氧化亚铜薄膜；再通过离子溅射在透明导电玻璃和氧化亚铜上制备金电极，从而获得具有纳米线/薄膜结构的太阳能电池。

6.如权利要求5所述的氧化锌/氧化亚铜薄膜太阳能电池的制备方法，其具体步骤如下：

（1）将FTO透明导电玻璃切成1×4cm的基片，接着用光漂洗涤剂超声清洗30-60 min，再用酒精超声清洗30-60 min，最后用蒸馏水超声清洗10-30 min，然后放入烘干箱干燥以备用； 

（2）将干燥的基片放入电解槽中，施加0.1-1 mA/cm²的恒电流，在60-90℃下沉积0.5-5h，所采用电解液是浓度为0.03-0.05 mol/l硝酸锌溶液，制备得到氧化锌纳米线；

（3）将得到的氧化锌纳米线放入电解槽，电流密度为0.1-0.3 mA/cm²，在40-80℃下沉积时间30-90分钟，得到一层氧化亚铜薄膜，制备出氧化锌/氧化亚铜薄膜异质结，采用的电解液为硫酸铜与乳酸的混合液，硫酸铜浓度0.2-0.4 mol/l，乳酸浓度为1-5 mol/l；

（4）以带孔的锌金属片为掩膜，通过离子溅射在氧化亚铜薄膜上制备金电极。

7.如权利要求5所述的氧化锌/氧化亚铜薄膜太阳能电池的制备方法，其特征在于：将得到的氧化锌纳米线通过选择性化学腐蚀制备氧化锌纳米管；然后以制备出的氧化锌纳米管为基底，沉积一层氧化亚铜薄膜；再通过离子溅射在透明导电玻璃和氧化亚铜上制备金电极，从而获得太阳能电池。