[发明专利]在质量未知的测试物体上平衡涡流阵列系统的方法

权利要求书

1.一种用于平衡涡流阵列探头的各个元件以及随后使用平衡的阵列探头来检查物理缺陷未知的多个测试物体的方法，该方法包括步骤：

提供已被校准后的涡流阵列探头，使得任何所述测试物体上的物理缺陷出现在测试结果的阻抗平面的正半部分中；

通过向被扫描的测试物体施加测试信号并接收来自被扫描的测试物体的测试结果，来扫描具有已知质量的所述测试物体中的至少一个；

通过检查任何测试结果是否出现在阻抗平面的负半部分中，来验证所述各个元件已经针对正确的定位被平衡，其中任何测试结果出现在阻抗平面的负半部分中是各个元件还未被正确地平衡的指示；

如果在验证步骤中确定探头未被平衡，则通过调整该探头定位直到其被验证步骤确定为平衡为止，来平衡该探头；以及

利用经过平衡步骤之后的所述阵列来扫描所述测试物体中的其它测试物体以检测缺陷。

2.根据权利要求1所述的方法，包括：

在所述测试物体中的单个测试物体上通过在所述单个测试物体上的给定区域处进行测试来执行对所述各个元件的所述平衡；以及

相对于所述阵列探头旋转所述单个测试物体来在所述区域处验证所述平衡；以及

在验证了所述阵列探头已被平衡后，随后通过在所述单个测试物体上的其它区域处对缺陷进行测试来扫描所述单个测试物体以检测缺陷。

3.根据权利要求1所述的方法，包括：

在所述测试物体中的第一测试物体上开始所述平衡并且通过使用所述测试物体中的另一个测试物体来验证所述阵列已被正确地平衡，以及在这样的验证后，继续扫描所述测试物体中的其它测试物体以检测缺陷，所述平衡、验证和扫描被执行为使得每个测试物体经受由所述阵列探头执行的仅单个测试。

4.根据权利要求1所述的方法，包括：

通过使所述测试物体中的每一个经受由所述阵列探头执行的仅单个测试来扫描多个所述测试物体，并且以如下方式执行所述扫描，在该方式中有关所述第一测试物体的缺陷状态的决定是在对所述第二测试物体的随后的扫描之后被确定的。

5.根据权利要求3所述的方法，其中：

通过使用缺陷未知的第一测试物体来平衡所述阵列探头的元件来执行所述方法；

然后丢弃所述第一测试物体；

然后检验第二测试物体，并且如果对第二测试物体的扫描被完成而没有涡流探头阵列的任何元件提供延伸到阻抗平面的负半部分中的输出，则认为第二测试物体无缺陷以及认为当前的探头已被平衡；以及

但是如果当前探头的任何元件的输出延伸到阻抗平面的负半部分中，则假定在第一测试物体上已发生不正确的平衡，并且然后暂停所述测试并通过使用第二测试物体和第三测试物体用作所述扫描过程的确认来重新平衡所述阵列探头的元件。