[发明专利]光学距离测量装置

权利要求书

1.一种光学距离测量装置，包括：

-光源(10；110；410；510)，

-干涉仪单元，具有测量-逆向反射器(21；121；421；521)、位置固定地设置的基准-逆向反射器(22；122；422；522)、分光器元件(23；230)、光束聚合单元(24；124；240；224；324；424；524)和检测单元(25；125；225；325；425；525)，其中

-由所述光源(10；110；410；510)发出的光束(S)能围绕所述基准-逆向反射器(22；122；422；522)的中心偏转并且-通过所述分光器元件(23；230)实现将由所述光源(10；110；410；510)入射到此的所述光束(S)分离成至少一个测量光束(MS；MS′；MS″；MS′″)和基准光束(RS)；

-所述至少一个测量光束(MS；MS′；MS″；MS′″)在所述测量-逆向反射器(21；121；421；521)的方向上传播并且所述基准光束(RS)相对于所述至少一个测量光束(MS；MS′；MS″；MS′″)共线地在所述基准-逆向反射器(22；122；422；522)的方向上传播，和

-所述测量-逆向反射器(21；121；421；521)对所述测量光束(MS；MS′；MS″；MS′″)以及所述基准-逆向反射器(22；122；422；522)对所述基准光束(RS)在所述光束聚合单元(24；124；240；224；324；424；524)的方向上进行回反射；其中所述至少一个测量光束(MS；MS′；MS″；MS′″)在所述测量-逆向反射器(21；121；421；521)上反射之前和之后相对于所述基准-逆向反射器(22；122；422；522)对称地延伸，并且

-所述光束聚合单元(24；124；240；224；324；424；524)使所述至少一个测量光束(MS；MS′；MS″；MS′″)和所述基准光束(RS)干涉；

-通过所述检测单元(25；125；225；325；425；525)能检测取决于距离的干涉信号。

2.根据权利要求1所述的光学距离测量装置，其中，所述光束聚合单元(24；124；240；224；324；424；524)包括一个或多个光学元件，用于补偿至少一个投射在其上的所述测量光束(MS；MS′；MS″；MS′″)和投射在其上的所述基准光束(RS)之间的偏移并且用于将这些所述光束这样共线地叠加，即由所述检测单元(25；125；225；325；425；525)能产生多个共线地叠加的、具有彼此相位偏移的干涉信号的测量-和基准光束对。

3.根据权利要求1所述的光学距离测量装置，其中，所述至少一个测量光束(MS；MS′；MS″；MS′″)在所述测量-逆向反射器(21；121；421；521)上逆向反射之前和之后相对于所述逆向反射的对称轴(SA；SA′)轴对称地延伸，所述对称轴平行于由所述光源(10；110；410；510)投射到此的所述光束(S)的投射方向，并且延伸经过所述基准-逆向反射器(22；122；422；522)的所述中心。

4.根据权利要求1至3中至少一项所述的光学距离测量装置，具有：

-能围绕所述位置固定的基准-逆向反射器(22；122；422；522)的所述中心偏转的偏转单元(450；550)，在所述偏转单元中至少布置了所述光束聚合单元(24；124；240；224；324；424；524)和所述检测单元(25；125；225；325；425；525)，以及布置了所述光源(10；110；410；510)或光波导体(511)的输出耦合侧的端部，从而因此使由所述光源(10；110；410；510)发出的所述光束(S)能围绕所述基准-逆向反射器(22；122；422；522)偏转，以及

-追踪单元，所述追踪单元为所述测量-逆向反射器(21；121；421；521)追踪所述偏转单元(450；550)并且为此包括追踪-检测装置，通过所述追踪-检测装置能检测所述至少一个测量光束(MS；MS′；MS″；MS′″)相对于所述测量-逆向反射器(21；121；421；521)的当前的指向。