[发明专利]器件承载装置有效
申请号: | 201110152913.1 | 申请日: | 2011-06-08 |
公开(公告)号: | CN102254764A | 公开(公告)日: | 2011-11-23 |
发明(设计)人: | 严茂程;施翔尹 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01J9/00 | 分类号: | H01J9/00;H01L21/673 |
代理公司: | 广东国晖律师事务所 44266 | 代理人: | 陈琳 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 器件 承载 装置 | ||
1.一种器件承载装置,其特征在于:所述器件承载装置包含:
一承载台,具有一承载面及至少一通孔,且所述通孔开设于所述承载面;
一真空系统,提供一真空吸力至所述通孔;
一供气系统,输出至少一种气体至所述通孔;以及
一放电系统,对所述气体放电,使所述气体电离成一离子流体;
其中所述通孔用以提供所述真空吸力以承载及吸引一器件;或用以在对所述器件解除真空时提供所述离子流体,以便消除所述器件的表面的静电。
2.如权利要求1所述的器件承载装置,其特征在于:所述放电系统包含:
至少一放电管,电离所述气体以形成具有复数正或负离子的所述离子流体;
一电源供应器,提供一电信号至所述放电管;以及
一监控器,其中所述监控器监测所述放电端之一电极性及所述放电端与所述器件间的一电位差,进而调变所述电信号。
3.如权利要求2所述的器件承载装置,其特征在于:所述电信号是一脉冲交流信号。
4.如权利要求2所述的器件承载装置,其特征在于:所述放电管包含一放电端,所述放电端设置于所述通孔内,且所述放电端依据所述电信号使所述气体电离成所述正或负离子。
5.如权利要求1所述的器件承载装置,其特征在于:所述真空系统包含:
一真空产生器,用以产生所述真空吸力;
至少一第一导管,连接于所述通孔;以及
一第一阀门,位于所述第一导管及通孔之间。
6.如权利要求1所述的器件承载装置,其特征在于:所述供气系统包含:
一气体供应器,用以输出所述气体;
至少一第二导管,连接于所述通孔;
一第二阀门,位于所述第一导管及所述通孔之间;以及
至少一筛网,具有复数筛孔,设置于所述气体供应器及所述第二导管之间。
7.如权利要求1所述的器件承载装置,其特征在于:所述通孔的直径是4毫米,且所述通孔的一孔壁上披覆一硅树脂层。
8.如权利要求1所述的器件承载装置,其特征在于:所述承载台另包含复数顶出销,收纳于所述承载台内或自所述承载面向上伸出。
9.如权利要求1所述的器件承载装置,其特征在于:所述器件是一液晶显示器半成品的一玻璃基板。
10.一种器件承载装置,其特征在于:所述器件承载装置包含:
一承载台,具有一承载面、至少一通孔及复数顶出销,所述通孔开设于所述承载面,所述顶出销收纳于所述承载台内或自所述承载面向上伸出;
一真空系统,提供一真空吸力至所述通孔;
一供气系统,以一气压输出至少一种气体;以及
一放电系统,包含:
至少一放电管,对所述气体放电,使所述气体电离成一离子风;及
一电源供应器,提供一电信号至所述放电管;
其中所述通孔用以提供所述真空吸力以承载及吸引一器件;或用以在对所述器件解除真空时提供所述离子流体,以便消除所述器件的表面的静电。
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