[发明专利]一种真空抽取方法及装置

权利要求书

1.一种真空抽取方法，其特征在于，该方法以密闭压力容器作为抽气装置，通过将密闭压力容器内的工作液体排出，使密闭压力容器内形成负压空间，并利用该负压空间来抽吸待制备真空的真空装置中的气体，最终使所述真空装置达到所需的真空度。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，通过选取使用相同温度下具有不同饱和蒸汽压的工作液体，和/或调整工作液体的温度，来配合改变所能获取的极限真空度。

3.一种真空抽取装置，其特征在于，所述装置包括密闭压力容器、液体泵，密闭压力容器上设置有用于抽吸待抽取真空的真空装置中气体的吸气口、用于排出所吸入气体的排气口、用于注入工作液体的注液口、和用于排出工作液体的排液口，其中，工作液体的排出由液体泵完成，密闭压力容器中所能达到的极限真空压力与所选取的工作液体的性质以及工作液体正常工作时的温度相关。

4.如权利要求3所述的真空抽取装置，其特征在于，所述真空抽取装置包含有至少两个所述密闭压力容器，并通过使两个密闭压力容器互为工作液体输出对象，而使二者的气体抽吸操作交替进行，由此实现对所述真空装置中气体的连续抽吸。

5.一种真空抽取系统，其特征在于，所述系统包括：密闭压力容器、工作液体供应源、工作液体循环装置、待抽取真空的真空装置，密闭压力容器上设置有吸气口、排气口、注液口和排液口，吸、排气口处均设置有控制阀门，吸气口通过管道与所述真空装置相连，注、排液口通过工作液体循环装置与工作液体供应源相连；工作液体循环装置控制密闭压力容器内液面的上升和下降，下降时所述真空装置内的气体被吸入到密闭压力容器中，上升时，密闭压力容器中的气体被排出，如此循环，实现对真空装置的真空抽取操作。

6.如权利要求5所述的系统，其特征在于，所述真空抽取系统中包含有两个所述密闭压力容器，该两个密闭压力容器互为工作液体供应源。

7.一种包含有权利要求3、4所述真空抽取装置的液体输运系统，其特征在于，所述液体输运系统包括：与液体源相接的液体输送管道，液体输送管道上在远离液体源位置处设置有液泵，液泵与液体源液面之间被气体所隔断，使用所述液体输运系统输运液体时，首先利用权利要求3、4所述真空抽取装置抽取液泵与液体源液面之间的气体，使液体源的液体到达液泵处，然后启动液泵进行液体输运。

8.一种包含有权利要求3、4所述真空抽取装置的液体输运系统，其特征在于，所述液体输运系统包括液体输送管道，该液体输送管道一端与液体源相接，另一端与权利要求3、4所述真空抽取装置中的密闭压力容器上的进气阀门的公共进气口相接或与连通在该公共进气口的管道相接，所述吸气口与液体源液面之间被气体所隔断，使用所述液体输运系统输运液体时，首先利用权利要求3、4所述真空抽取装置抽排液体输送管道中的气体，直至液体源的液体置换输送管道中的气体并进入密闭压力容器中，然后直接利用真空抽取装置中的液体泵进行液体源液体的输运；该过程中无论是气体或液体或气液混合体均能顺利地通过本真空抽取系统排出或输运。

9.一种包含有权利要求5、6所述真空抽取系统的液体输运系统，其特征在于，所述液体输运系统包括：与液体源相接的液体输送管道，液体输送管道上在远离液体源位置处设置有液泵，液泵与液体源液面之间被气体所隔断，液泵与液体源之间的液体输送管道即构成所述真空抽取系统中的真空装置，使用所述液体输运系统输运液体时，首先利用所述真空抽取系统抽取液泵与液体源液面之间的气体，使液体源的液体到达液泵处，然后启动液泵进行液体输运。

10.一种包含有权利要求5、6所述真空抽取系统的液体输运系统，其特征在于，所述液体输运系统包括液体输送管道，该液体输送管道即构成所述真空抽取系统中的真空装置，其一端与液体源相接，另一端与所述真空抽取系统中的密闭压力容器上的吸气口相接，所述吸气口与液体源液面之间被气体所隔断，使用所述液体输运系统输运液体时，首先利用所述真空抽取系统抽取液体输送管道中的气体，直至将液体源的液体吸入到密闭压力容器后，然后利用真空抽取系统中的液体泵进行液体源液体的输运。